[发明专利]厚铜层与其形成方法有效
申请号: | 201510291125.9 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN106191939B | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 陈振榕;蔡承洋;李鸿坤 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;B32B15/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 孙梵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 厚铜层 与其 形成 方法 | ||
1.一种厚铜层,其厚度为100至300微米,表面粗糙度为4至7μm,(220)平面的织构系数为91%至99%,且150℃至200℃的高温伸长率为5%至16%。
2.如权利要求1所述的厚铜层,其(220)平面的织构系数与(311)平面的织构系数的比例为10:1至25:1。
3.如权利要求1所述的厚铜层,系由柱状晶所组成,且柱状晶的高度与该厚铜层的厚度的比例为0.6:1至0.9:1。
4.一种如权利要求1-3任一项所述的厚铜层的形成方法,包括:
将待镀物浸入电镀液;以及
提供电镀电流,以电镀厚铜层至该待镀物上,
其中该电镀液包括:
60至120g/L的铜离子;
20ppm至40ppm的氯离子;
70至110g/L的二质子酸;
1ppm至10ppm的水溶性高分子;以及
0.5ppm至5ppm的动物胶。
5.如权利要求4所述的厚铜层的形成方法,其中该二质子酸包括硫酸。
6.如权利要求4所述的厚铜层的形成方法,其中该水溶性高分子包括聚乙烯醇、羧甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基纤维素、甲基纤维素、乙基纤维素、或上述的组合。
7.如权利要求4所述的厚铜层的形成方法,其中该水溶性高分子的重均分子量为5万至250万。
8.如权利要求4所述的厚铜层的形成方法,其中该动物胶包括骨胶、皮胶、或上述的组合。
9.如权利要求4所述的厚铜层的形成方法,其中该动物胶的重均分子量为10000至150万。
10.如权利要求4所述的厚铜层的形成方法,其中该电镀液不含3-巯基-1-丙磺酸钠。
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