[发明专利]一种半导体激光器管芯烧结夹具及其烧结方法有效
申请号: | 201510291154.5 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN104882781A | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 杨扬;孙素娟;李沛旭;徐现刚 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子有限公司 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024;H01S5/022 |
代理公司: | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人: | 王书刚 |
地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 管芯 烧结 夹具 及其 方法 | ||
1.一种半导体激光器管芯烧结夹具,包括底座、固定柱和压块,其特征是:固定柱固定于底座上,底座上至少设置有一组固定柱,每一组固定柱为两个,每一组的两个固定柱上设置一个压块,压块上设有两个导孔,通过两个导孔套装在两个固定柱上。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述底座为长方形、正方形或圆形。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述底座和压块采用磁性金属材料制成,固定柱采用无磁性的金属材料制成。
4.根据权利要求1或3所述的半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述底座采用具有磁性的不锈钢制成,压块采用铝镍钴磁铁制成,固定柱采用无氧铜制成。
5.一种权利要求1所述夹具进行半导体激光器管芯烧结的方法,其特征是,包括如下步骤:
(1)在显微镜下用吸附机将半导体激光器管芯放置在带有焊料的热沉上,形成激光器管芯和热沉,将激光器管芯和热沉排布于每一组固定柱的两个固定柱之间,每一组放置2-20个;
(2)在每一组的两个固定柱上放置压块,通过压块的重力及压块与底座之间的磁力作用,使压块对管芯施压,微调激光器热沉和管芯的位置,使得压块正对住激光器管芯压紧;
(3)将通有氮气的保护罩壳盖住整个夹具后密封,放于加热台上,进行烧结。
6.根据权利要求5所述的进行半导体激光器管芯烧结的方法,其特征是,所述每一组固定柱的两个固定柱之间放置2-5个激光器管芯和热沉。
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