[发明专利]一种用膜分离法回收提取高纯度SF6气体的装置及方法

权利要求书

1. 一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的装置，包括压缩机（1）和连接在压缩机（1）上的膜分离回收装置；其特征在于：所述膜分离回收装置由N个顺次连接的中空纤维膜（2）组成，所述N≥4。

2. 根据权利要求1所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的装置，其特征在于：所述中空纤维膜（2）的数量N=4，沿着气体流通方向顺次命名为一级中空纤维膜、二级中空纤维膜、三级中空纤维膜和四级中空纤维膜。

3. 根据权利要求1或2所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的装置，其特征在于：所述每根中空纤维膜（2）上均具有一个渗透侧排气口；该膜分离回收装置中气体流通方向上第一根中空纤维膜（2）的渗透侧排气口与大气连通，其余中空纤维膜（2）的渗透侧排气口则与压缩机（1）的进气口连通。

4. 根据权利要求1或2所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的装置，其特征在于：所述压缩机（1）出口与膜分离回收装置之间还设置有气体预处理净化系统（3）。

5. 根据权利要求4所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的装置，其特征在于：所述气体预处理净化系统（3）包括沿着气体流通方向顺次连接的压缩气体缓冲罐、精密过滤器、超精过滤器、活性炭过滤器及粉尘过滤器等。

6. 根据权利要求1或2所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的装置，其特征在于：所述膜分离回收装置的后端还连接有SF₆成品气体缓冲罐，该膜分离回收装置的后端还设置有流量计以及用于调节气体流量的阀门。

7. 一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将含有SF₆的原料气体通过压缩机加压后，再通入膜分离回收装置中气体流通方向上的一级中空纤维膜中；

（2）通过一级中空纤维膜分离后得到回收气体，该回收气体再顺次进入膜分离回收装置的其余中空纤维膜中进行分离；

（3）顺次经过中空纤维膜分离后得到的气体即为高纯度SF₆气体；

所述膜分离回收装置由N个中空纤维膜顺次串联组成，其中，N≥4。

8. 根据权利要求7所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将含有SF₆的原料气体通过压缩机加压后，再通入膜分离回收装置中气体流通方向上的一级中空纤维膜中；

（2）通过一级中空纤维膜分离后得到回收气体，该回收气体再顺次进入膜分离回收装置中二级、三级以及四级中空纤维膜中进行分离；

（3）顺次经过一级、二级、三级以及四级中空纤维膜分离后得到的气体即为高纯度SF₆气体。

9. 根据权利要求7或8所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的方法，其特征在于，所述步骤（2）中一级中空纤维膜分离后的渗透气直接排放入大气中，其余中空纤维膜分离后的渗透气则返回压缩机加压后再进行循环处理。

10. 根据权利要求9所述的一种用膜分离法回收提取高纯度SF₆气体的方法，其特征在于，所述压缩机加压后气体压力为0.4~3.5MPag。