[发明专利]一种石墨烯-氮化硼异质结的制备方法在审
申请号: | 201510292023.9 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN104944417A | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 陈吉;卢光远;吴天如;王慧山;张学富;王浩敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04;C01B21/064 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 氮化 硼异质结 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于,所述石墨烯-氮化硼异质结的制备方法包括以下步骤:
S1:在热释放胶带上粘附石墨烯;
S2:将所述热释放胶带表面粘附有所述石墨烯的一面贴合到氮化硼上;
S3:加热使所述热释放胶带失去粘性,然后揭去所述热释放胶带,得到石墨烯-氮化硼异质结。
2.根据权利要求1所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于,所述石墨烯-氮化硼异质结的制备方法包括以下步骤:
S1:在热释放胶带上粘附石墨烯;
S2:提供表面形成有氮化硼的第一衬底,将所述热释放胶带表面粘附有所述石墨烯的一面贴合到所述氮化硼上,形成热释放胶带-石墨烯-氮化硼-第一衬底结构;然后将热释放胶带-石墨烯-氮化硼结构从所述第一衬底上剥离,并覆盖到目标衬底上;
S3:加热使所述热释放胶带失去粘性,然后揭去所述热释放胶带,得到位于所述目标衬底上的石墨烯-氮化硼异质结。
3.根据权利要求2所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:于所述步骤S2中,通过化学气相沉积法在所述第一衬底上生长得到所述氮化硼。
4.根据权利要求3所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:所述第一衬底包括Cu、Ni或Pt。
5.根据权利要求1所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于,所述石墨烯-氮化硼异质结的制备方法包括以下步骤:
S1:在热释放胶带上粘附石墨烯;
S2:在另一热释放胶带上粘附氮化硼;
将所述热释放胶带粘附有所述氮化硼的一面贴合到目标衬底上;
加热使所述氮化硼上的热释放胶带失去粘性,然后揭去所述氮化硼上的热释放胶带,形成氮化硼-目标衬底结构;
将粘附有所述石墨烯的热释放胶带覆盖到所述氮化硼表面,得到热释放胶带-石墨烯-氮化硼-目标衬底结构;
S3:加热使所述热释放胶带-石墨烯-氮化硼-目标衬底结构中的热释放胶带失去粘性,然后揭去所述热释放胶带,得到位于所述目标衬底上的石墨烯-氮化硼异质结。
6.根据权利要求5所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:于所述步骤S2中,在另一热释放胶带上粘附氮化硼的方法为机械剥离法。
7.根据权利要求6所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:通过机械剥离法在另一热释放胶带上粘附氮化硼薄膜包括以下步骤:将氮化硼粉体粘贴在热释放胶带上,多次对折热释放胶带,层层剥离氮化硼粉体,直至热释放胶带上留下预设层数的氮化硼。
8.根据权利要求2~7任意一项所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:所述目标衬底包括石英、蓝宝石或柔性衬底。
9.根据权利要求1~7任意一项所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:于所述步骤S1中,在热释放胶带上粘附石墨烯包括以下步骤:
提供第二衬底,通过化学气相沉积法在所述第二衬底上生长石墨烯;
将所述热释放胶带贴合于所述石墨烯表面,形成热释放胶带-石墨烯-第二衬底结构;
将热释放胶带-石墨烯结构从所述第二衬底上剥离。
10.根据权利要求9所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:所述第二衬底包括Cu、Ni或Pt。
11.根据权利要求1~7任意一项所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:于所述步骤S1中,在热释放胶带上粘附石墨烯的方法为机械剥离法。
12.根据权利要求11所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于,通过机械剥离法在热释放胶带上粘附石墨烯包括以下步骤:将石墨烯粉体粘贴在热释放胶带上,多次对折热释放胶带,层层剥离石墨烯粉体,直至热释放胶带上留下预设层数的石墨烯。
13.根据权利要求1~7任意一项所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:加热使所述热释放胶带失去粘性的温度范围是80~200℃,加热时间为2~30min。
14.根据权利要求1~7任意一项所述的石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,其特征在于:于所述步骤S3之后,进一步对所述石墨烯-氮化硼异质结进行退火处理,以去除所述石墨烯-氮化硼异质结表面的污染物。
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