[发明专利]离子铣削装置

权利要求书

1.一种离子铣削装置，其具备：

离子源，其安装在真空腔内，向试料照射离子束；以及

倾斜工作台，其具有相对于该离子源放出的离子束的照射方向垂直的方向的倾斜轴，

其特征在于，

所述离子铣削装置具备：

旋转体，其设置在所述试料工作台上，且具有与所述倾斜轴正交的旋转倾斜轴；以及

加工观察用开口，其设置在所述真空腔的壁面上，且设置在与由所述倾斜轴和所述离子束的照射轨道所成的平面正交的方向上。

2.如权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，

所述离子铣削装置具备使所述试料位置在所述试料工作台上偏心的偏心机构。

3.如权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，

所述离子铣削装置在所述旋转体上具备试料掩膜单元，该试料掩膜单元具有遮蔽部，该遮蔽部具有与所述旋转倾斜轴平行的离子束遮蔽面。

4.如权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，

根据所述离子束源与所述试料的距离，切换剖面铣削与平面铣削的模式。

5.如权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，

在所述加工观察用开口的上部配置光学显微镜。

6.如权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，

在所述加工观察用开口部配置电子显微镜的镜筒。