[发明专利]大行程三维纳米柔性运动平台

权利要求书

1.一种大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台在Z向上位于所述基座的上方，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；

X向驱动器和Y向驱动器；

第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，所述第一Z向柔性解耦件和所述第二Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第一Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第二Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及

第一放大杆和第二放大杆，所述第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与所述基座相连，所述第一放大杆的上端通过第一上柔性铰链与所述第一Z向柔性解耦件相连，所述第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与所述基座相连，所述第二放大杆的上端通过第二上柔性铰链与所述第二Z向柔性解耦件相连，其中所述X向驱动器与所述第一放大杆相连，所述Y向驱动器与所述第二放大杆相连；

第一连接件，所述第一连接件与所述第一Z向柔性解耦件的上端相连，所述第一连接件通过所述第一上柔性铰链与所述第一放大杆的上端相连；

L形的第二连接件，所述第二连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第二连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第二连接件的水平肢与所述第一Z向柔性解耦件的下端相连；

第三连接件，所述第三连接件与所述第二Z向柔性解耦件的上端相连，所述第三连接件通过所述第二上柔性铰链与所述第二放大杆的上端相连；和

L形的第四连接件，所述第四连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第四连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第四连接件的水平肢与所述第二Z向柔性解耦件的下端相连。

2.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一Z向柔性解耦件为两个且两个所述第一Z向柔性解耦件相对Z向对称，所述第二Z向柔性解耦件为两个且两个所述第二Z向柔性解耦件相对Z向对称。

3.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：

第一X向连接件，所述第一X向连接件沿X向延伸，所述第一X向连接件的一端与所述X向驱动器相连，所述第一X向连接件的另一端通过第一柔性铰链与所述第一放大杆相连；和

第一Y向连接件，所述第一Y向连接件沿Y向延伸，所述第一Y向连接件的一端与所述Y向驱动器相连，所述第一Y向连接件的另一端通过第二柔性铰链与所述第二放大杆相连。

4.根据权利要求3所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：

第一柔性解耦件，所述第一柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第一柔性解耦件的另一端与所述第一X向连接件相连；和

第二柔性解耦件，所述第二柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第二柔性解耦件的另一端与所述第一Y向连接件相连。

5.根据权利要求4所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件沿Y向延伸，所述第二柔性解耦件沿X向延伸。

6.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：

第三Z向柔性解耦件和第四Z向柔性解耦件，所述第三Z向柔性解耦件和所述第四Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第三Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第四Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及

第三放大杆和第四放大杆，所述第三放大杆的下端通过第三下柔性铰链与所述基座相连，所述第三放大杆的上端通过第三上柔性铰链与所述第三Z向柔性解耦件相连，所述第四放大杆的下端通过第四下柔性铰链与所述基座相连，所述第四放大杆的上端通过第四上柔性铰链与所述第四Z向柔性解耦件相连。