[发明专利]一种集成的差分硅电容麦克风

权利要求书

1.一种集成的硅电容麦克风，其特征在于，包括：相结合的外壳和基板，且所述外壳和所述基板其中之一上设有进音孔，2个或4个相互匹配的差分MEMS敏感元件，集成电路和声腔，其中：

所述集成电路用于对声波经所述进音孔、所述声腔到各所述差分MEMS敏感元件转化为的电信号进行缓冲/放大和输出，所述集成电路与各所述差分MEMS敏感元件之间的电气排布和连接方式为轴对称或镜像对称关系；

声波进入所述进音孔后的传声路径和所述声腔对各个所述差分MEMS敏感元件的路径一致，且所述集成电路和各所述差分MEMS敏感元件在所述外壳和所述基板中的布局布线使得各路电气信号一致传递，其中，所述传声路径为从所述进音孔、所述声腔到各所述差分MEMS敏感元件形成的路径。

2.根据权利要求1所述的集成的硅电容麦克风，其特征在于，所述差分MEMS敏感元件的芯片形状为正方形，数量为4个，且4个所述差分MEMS敏感元件为2乘2矩形排布，在几何上沿相互位置中分面成镜像对称关系。

3.根据权利要求1所述的集成的硅电容麦克风，其特征在于，所述集成电路为一种同时提供对称的正负偏置电压的芯片。

4.根据权利要求1所述的集成的硅电容麦克风，其特征在于，所述集成电路为两种分别对称地提供正负偏置电压的芯片。

5.根据权利要求1所述的集成的硅电容麦克风，其特征在于，所述硅电容麦克风的输出方式为差分双端输出。

6.根据权利要求1所述的集成的硅电容麦克风，其特征在于，所述硅电容麦克风工作时通过所述集成电路实现静电力反馈，从而使得各所述差分MEMS敏感元件闭环工作。