[发明专利]一种谐振腔内激光击穿光谱检测装置

权利要求书

1.一种谐振腔内激光击穿光谱检测装置，包括激光光源和光谱分析单元，所述光谱分析单元包括计算机主机(6)和光谱仪(5)，其特征在于：

还包括谐振腔(3)和移动样品台(4)；

所述谐振腔(3)由前腔镜和后腔镜构成，激光光源出光自所述谐振腔(3)前腔镜入射腔内；

所述移动样品台(4)中放置待测物质(4-1)，可升入所述谐振腔(3)内；

所述光谱仪(5)的探测端对准升入谐振腔(3)内的移动样品台(4)。

2.根据权利要求1所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：激光光源出射光作为泵浦光(A-1)，其光路上设置聚光器件(2-4)；谐振腔(3)中包括激光晶体，激光晶体的外侧端面为前腔镜，该端面镀有对泵浦光(A-1)高透、对激光晶体激发光高反的膜；激光光源、谐振腔(3)和聚光器件(2-4)组成端面泵浦的固态激光器，泵浦光(A-1)透过聚光器件(2-4)自前腔镜入射谐振腔(3)。

3.根据权利要求2所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述激光光源为激光二极管(2-1)或激光二极管阵列。

4.根据权利要求2所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述激光光源放置于散热器(2-2)和热电制冷器(2-3)上。

5.根据权利要求2所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述后腔镜为凹面镜(3-2)。

6.根据权利要求5所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述凹面镜(3-2)在朝向谐振腔(3)的内侧面镀有对激光晶体激发光反射率95％或者全反射的膜。

7.根据权利要求1所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述谐振腔(3)为相对平行设置的第一平面镜(3-3)和第二平面镜(3-4)构成的F-P腔，第一平面镜(3-3)为前腔镜，第二平面镜(3-4)为后腔镜，由激光光源发出的入射光(B-1)自第一平面镜(3-3)入射所述F-P腔内，二平面镜间距可调。

8.根据权利要求7所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述第一平面镜(3-3)对所述入射光(B-1)高反，第二平面镜(3-4)对入射光(B-1)高反或全反射。

9.根据权利要求7所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述激光光源为CO₂脉冲激光器。

10.根据权利要求1至9任一项所述的谐振腔内激光击穿光谱检测装置，其特征在于：所述光谱仪(5)的探测端为光纤(5-1)和耦合透镜(5-2)，所述耦合透镜(5-2)将光聚焦至光纤(5-1)中。