[发明专利]一种氧化亚铜基异质结太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化亚铜基异质结太阳能电池，其特征在于，在衬底(1)上自下而上依次有铬金复合电极 (2)、氧化亚铜层(3)、ZnO:S缓冲层(4)、ZnO:Al层(5)和铝栅电极(6)，所述的ZnO:S缓冲层(4)厚度为10nm，硫的原子百分比为9%，所述的ZnO:Al层(5)载流子浓度大于10²¹cm^-3，方块电阻小于50Ω/□。

2.根据权利要求1所述的氧化亚铜基异质结太阳能电池，其特征在于，所述的铬金复合电极(2)中铬层厚度为8nm, 金层厚度为100～120nm。

3.根据权利要求1所述的氧化亚铜基异质结太阳能电池，其特征在于，所述的氧化亚铜层(3)的厚度为2.5μm±100nm。

4.根据权利要求1所述的氧化亚铜基异质结太阳能电池，其特征在于，所述的铝栅电极(6)的厚度为1μm，其栅间距为0.5㎜。

5.制备如权利要求1-4任一项所述的氧化亚铜基异质结太阳能电池的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）在洁净的衬底(1)上依次蒸镀铬、金制备铬金复合电极(2)；

2）在上述铬金复合电极(2)表面采用电化学沉积法生长氧化亚铜层(3)，并在铬金复合电极(2)表面预留用于电池测试的面积；

3）在上述氧化亚铜层(3)表面依次沉积生长ZnO:S缓冲层(4)和 ZnO:Al层(5)；

4）在ZnO:Al层(5)表面制作铝栅电极(6)，获得氧化亚铜基异质结太阳能电池。