[发明专利]在纯钛表面制备氧化锌掺杂二氧化钛纳米管的方法

权利要求书

1.一种在纯钛表面制备氧化锌掺杂二氧化钛纳米管的方法，其特征在于：包括以下步骤：

  (1)纯钛试样预处理：将纯钛试样进行机械研磨、抛光，然后依次浸入丙酮、酒精和蒸馏水中分别进行超声波清洗各5min，冷风吹干备用；

  (2)将预处理好的纯钛试样放入磁控溅射镀膜设备的真空室内的样品台上，将永磁体安放在真空室的外表面上，将含有1~10%质量分数的锌的平面钛锌合金靶安装在永磁体的背面的真空室内，调整钛锌合金靶与纯钛试样之间的距离；

   (3)先用抽真空装置将真空室内的气压通过出气孔抽至4.5×10^-3~5.5×10^-3Pa，然后通过进气孔通入氩气到真空室内，氩气的流量由流量计控制，当真空室气压稳定在4.8~5.2Pa时，打开偏压电源并将偏压缓慢加至-800~-900V对真空室和纯钛试样表面进行溅射清洗，清洗时间为35~45min；

(4)清洗完成后，打开抽真空装置并通过出气孔抽出残气，调节氩气通入量，使真空室内气压保持在7.8×10^-1~8.2×10^-1Pa，开启钛锌合金靶的溅射电源并将电压缓慢加至320~350V，然后开启偏压电源并调整偏压至-50V～-80V，在纯钛试样表面镀钛锌复合膜层，镀膜时间为2~4h；

(5)镀膜完成后，将电解液放入到电解池内，将辅助电极和经过镀膜处理的试样固定在支架的下端并浸入到电解液以内，然后打开直流电源对经过镀膜处理的试样进行阳极氧化处理，氧化电压为40~50V，氧化时间为2~4h，制备出氧化锌掺杂二氧化钛纳米管。

2.根据权利要求1所述的在纯钛表面制备氧化锌掺杂二氧化钛纳米管的方法，其特征在于：所述钛锌合金靶与纯钛试样的距离为80~90cm。

3.根据权利要求1所述的在纯钛表面制备氧化锌掺杂二氧化钛纳米管的方法，其特征在于：所述步骤（3）中通入氩气的流量为60sccm；所述步骤(4)清洗完成后通入氩气流量至80sccm。

4.根据权利要求1所述的在纯钛表面制备氧化锌掺杂二氧化钛纳米管的方法，其特征在于：所述步骤（5）中电解液为乙二醇电解液，乙二醇电解液中含有4.0~5.0%质量分数的氟化铵和3.8~4.8%质量分数的纯水。