[发明专利]碳化硅二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201510296838.4 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106298967B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王辉;蔡勇;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/24 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳化硅 二极管 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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