[发明专利]遮罩在审
| 申请号： | 201510298783.0 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106282916A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郦唯诚;卓家汶 | 申请（专利权）人： | 旭晖应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,常大军 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 遮罩 | ||
【权利要求书】：
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