[发明专利]OLED材料真空热蒸镀用掩膜板

说明书

技术领域

本发明涉及有机发光二极管显示器的制作领域，尤其涉及一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板。

背景技术

有机发光二级管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-LCD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。

OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机发光层和阴极。OLED各功能材料层与阴极金属层薄膜通过真空热蒸镀工艺制备，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属掩膜板(Mask)的开孔沉积在玻璃基板上。掩膜板的作用是使OLED材料蒸镀到设计的位置，因此掩膜板的开孔位置、形状以及表面平整度都相当重要。

如图1所示，现有掩膜板包括掩膜框架100和通过激光电焊固定在掩膜框架100上的掩膜200，焊点300位于掩膜框架100上。掩膜在使用一段时间后，上边会沉积一定厚度的OLED材料，在重力作用下容易导致掩膜下垂变形，而且OLED材料也可能堵塞开孔，或者使开孔有效尺寸变小。所以，掩膜在使用一定的时间后，就需要进行清洗，甚至要更换一张新的掩膜。

当需要更换一张新的掩膜时，需要把原来的掩膜与掩膜边框分离，去掉掩膜，并对掩膜边框表面进行研磨抛光。因为原来的点焊位置应该有凸起，需要将掩膜边框表面研磨成平面(平面度在50微米内)。同时，在原来的点焊位置，焊接时的热量也等于是给焊点位置进行了热处理，导致点焊位置硬度变大，所以这一层硬化层也需要研磨去掉，以便不影响下一片掩膜的点焊效果，每对掩膜边框的焊接面进行一次打磨，就要消耗一定厚度(0.1-1mm)。

这样的情况下，如图2、图3所示，多次更换掩膜后，掩膜边框100经过多次抛光，厚度会逐渐变薄，中部下垂，不仅影响到边框的结构强度，使用时基板与掩膜存在一定空隙，也会影响到掩膜200在蒸镀设备里的对位位置，导致OLED发光元件出现混色等品质不良。所以，掩膜边框经过研磨抛光一定的厚度后就需要报废，并且掩膜边框需要运输到有大型抛光磨床的厂家进行研磨抛光，比较耗时，所以需要制作多块掩膜边框备用，导致生产成本增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其掩膜边框能够重复多次使用，减少掩膜边框的报废量，提高掩膜边框的利用率，同时能够减少掩膜边框的备份数量，节约材料及生产成本。

为实现上述目的，本发明提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，包括掩膜边框、固定于所述掩膜边框上的插条、及固定于所述插条上的掩膜；

所述掩膜边框包括四条边，该四条边围拢出一对应掩膜的开口；将所述掩膜边框靠近掩膜一侧的表面定义为上表面，掩膜边框的每条边上均设置一沟槽；

所述插条固定于所述沟槽内，所述插条的上表面与所述沟槽的上表处于同一平面上；所述掩膜通过点焊固定于插条上，焊点位于插条上；

所述插条的上表面的宽度小于所述插条位于所述沟槽内的宽度。

所述沟槽位于所述掩膜边框的每条边的中部，所述沟槽凹陷于所述掩膜边框的上表面。

每条沟槽下方设有至少两个第一通孔，所述插条对应所述第一通孔设有一第一螺纹孔；一第一螺钉穿过所述第一通孔锁合于第一螺纹孔内，从而将所述插条固定于所述沟槽内。

所述沟槽位于所述掩膜边框的每条边的外周，所述沟槽形成于所述掩膜边框的上表面与外侧面之间。

每条沟槽下方设有至少两个第一通孔，所述插条对应所述第一通孔设有一第一螺纹孔；每条插条在其宽度方向上设有至少两个第二通孔，所述沟槽侧方对应所述第二通孔设有第二螺纹孔；一第一螺钉穿过所述第一通孔锁合于第一螺纹孔内，一第二螺钉穿过所述第二通孔锁合于第二螺纹孔内，从而将所述插条固定于所述沟槽内。

所述插条与所述沟槽在尺寸上形成紧密配合。

所述插条的横截面为多边形或带有圆弧的多边形。

所述插条的横截面为梯形。

所述插条与所述掩膜边框均为金属材料。