[发明专利]一种降低硅棒同心圆的硅棒制作方法在审
| 申请号： | 201510299656.2 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN104962988A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 李广哲;李杰涛;赵聚来;韩佳 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 降低 同心圆 制作方法 | ||
1.一种降低硅棒同心圆的硅棒制作方法,包括化料步骤、转埚步骤、引颈步骤、放肩步骤、转肩步骤、等径步骤、收尾步骤，其特征在于：
所述的转埚步骤中，坩埚的转速为8r/min—10r/min；
所述的放肩步骤中，提升速度为0.8mm/min-1.0mm/min，坩埚的转速为8r/min—10r/min；
所述的转肩步骤中提升速度为1.6-1.8mm/min，坩埚的转速为8r/min—10r/min；
所述的等径步骤中，坩埚的转速为8r/min—10r/min；
所述的收尾步骤中，坩埚的转速为8r/min—10r/min。
2.根据权利要求1所述的一种降低硅棒同心圆的硅棒制作方法,其特征在于：所述的转埚步骤中，埚转时长大于1小时。
3.根据权利要求1所述的一种降低硅棒同心圆的硅棒制作方法,其特征在于：所述的转肩步骤中，待放肩步骤完成后在1分钟之内将提升速度升至1.6mm/min-1.8mm/min。
4.根据权利要求1所述的一种降低硅棒同心圆的硅棒制作方法,其特征在于：所述的放肩步骤中，待引颈步骤完成后在10分钟内逐步将提升速度降到0.8mm/min-1.0mm/min。
5.根据权利要求1所述的一种降低硅棒同心圆的硅棒制作方法,其特征在于：在S1步骤之前还包括调整单晶炉热系统步骤，所述的调整单晶炉热系统步骤具体的为，调整电极柱高度，以使得成晶埚位降低10mm。
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