[发明专利]基板标记检测装置和基板标记检测方法

权利要求书

1.一种基板标记检测装置，其特征在于，包括：

检测模块，用于检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效；

信息提取模块，在所述基板为有效的情况下，解析所述标记得到解析信息，查询所述标记对应的预存信息，判断所述解析信息与所述预存信息是否相符，若相符，则提取所述预存信息进行显示；

分拣模块，在所述基板为无效或所述解析信息与所述预存信息不相符的情况下，去除所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述检测模块包括：

第一光收发单元，用于向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；

计算单元，用于根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；

第一判断单元，用于判断每个所述标记嵌入所述基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定所述基板为无效。

3.根据权利要求1所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述检测模块包括：

第一光收发单元，用于向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；

计算单元，用于根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；

第一判断单元，用于判断每个所述深度是否处于预设深度范围内，若任一所述深度未处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为无效，若每个所述深度都处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为有效。

4.根据权利要求2或3所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述第一判断单元还用于根据所述第二光线的第二传播距离判断所述标记的上表面形状，

若判定所述标记的上表面为平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离相等，所述计算单元根据所述第二传播距离中任一子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度，

若判定所述标记的上表面为非平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离不相等，所述计算单元据所述第二传播距离中最大的子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度。

5.根据权利要求1所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块包括：

第二光收发单元，发出光线照射有效的基板，获取每个所述标记投影形成的点阵图像；

解析单元，用于对所述点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，所述解析信息为点阵图像编码数据；

查询单元，用于查询所述标记对应的预存信息；

第二判断单元，用于判断所述解析信息与所述预存信息是否相符；

提取单元，在所述解析信息与所述预存信息相符的情况下，提取所述预存信息进行显示。

6.根据权利要求5所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块还包括：

滤光单元，设置于所述第二光收发单元与所述点阵图像之间，用于滤除非标记在所述第二光收发单元发出光线照射下产生的投影。

7.根据权利要求5所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块还包括：

曝光单元，用于对所述点阵图像进行曝光，使每个所述标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，

其中，所述第二光收发单元获取处于所述预设灰阶范围以内的点阵图像。

8.根据权利要求5所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述提取单元用于获取所述点阵图像编码数据的头部信息，查询与所述头部信息对应的预存信息，判断所述预存信息与所述图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取所述预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。

9.根据权利要求1至3和5至8中任一项所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块还用于解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询所述备用标记对应的备用预存信息，判断所述备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。