[发明专利]蒸发源装置及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201510300073.7 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN104846338A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 矫士博 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括：
一端开口的坩埚；
位于所述坩埚内、对所述坩埚内的材料进行搅拌的搅拌单元；
驱动所述搅拌单元旋转的驱动装置。
2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述搅拌单元包括：连接杆和至少两个叶片，所述连接杆的一端与所述驱动装置可旋转连接，另一端与所述至少两个叶片固定连接。
3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述连接杆的轴线与所述坩埚的轴线重合，所述至少两个叶片绕所述连接杆的轴线旋转；或所述连接杆的轴线与所述坩埚的轴线不重合，所述至少两个叶片绕所述坩埚的轴线旋转。
4.如权利要求2或3项所述的蒸发源装置，其特征在于，还包括：设置于所述坩埚的开口端、用于防止坩埚内的材料喷溅的遮挡网。
5.如权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述搅拌单元包括：传动杆，所述传动杆的一端与所述驱动装置可旋转连接，另一端与所述遮挡网的一侧壁固定连接，所述连接杆的一端与所述遮挡网的底部连接。
6.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述至少两个叶片与所述连接杆之间焊接或通过螺栓连接。
7.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述至少两个叶片和所述连接杆的材料为金属钛、钨、不锈钢或陶瓷。
8.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述驱动装置为电机。
9.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述搅拌单元的转速为0～100转/分钟。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的蒸发源装置。
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