[发明专利]层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。

背景技术

随着显示面板、太阳能电池、薄膜二次电池等电子器件的薄型化、轻型化，期望应用于这些电子器件的玻璃板、树脂板、金属板等基板(第1基板)的薄板化。

然而，若基板的厚度变薄，则基板的处理性恶化，因此，难以在基板的表面形成电子器件用的功能层(薄膜晶体管(TFT：ThinFilmTransistor)和滤色器(CF：ColorFilter))。

因此，提案有如下一种电子器件的制造方法：在基板的背面粘贴玻璃制的加强板(第2基板)从而构成利用加强板加强基板的层叠体，并在层叠体的状态下在基板的表面形成功能层。在该制造方法中，基板的处理性提高，因此能够在基板的表面良好地形成功能层。而且，加强板能够在形成功能层后自基板剥离。

专利文献1所公开的加强板的剥离方法通过自位于矩形状的层叠体的对角线上的两个角部中的一个角部朝向另一个角部地使加强板或基板或者它们双方向互相分开的方向挠性变形来进行。此时，为了使剥离顺利进行，在层叠体的一个角部制作剥离开始部。剥离开始部是通过将剥离刀自层叠体的端面向基板和加强板之间的界面内插入预定量而制作的。

另一方面，在专利文献2中公开了这样一种剥离方法：向基板与元件形成层之间的界面内喷射离子化液体从而将元件从基板剥离。

专利文献1：国际公开第2011/024689号

专利文献2：日本特开2005-79553号

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献2的剥离方法中，存在有如下问题：吹送来的液体难以遍及剥离前线，而使元件形成层的剥离无法顺畅地进行。

本发明即是鉴于这样的课题而做成的，其目的在于，提供一边向第1基板与第2基板之间的界面内供给液体一边在界面内进行剥离、能够顺畅且在短时间内利用液体进行剥离的层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，本发明的层叠体的剥离装置的一技术方案，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：倾斜单元，其使层叠体相对于水平方向倾斜，该层叠体通过以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成；液体供给单元，其利用液体充满倾斜着的上述层叠体的至少上端部侧的侧面；以及剥离单元，其自倾斜着的上述层叠体的上端部朝向下端部地在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内使层叠体剥离。

为了达成上述目的，本发明的层叠体的剥离装置的另一技术方案，对于以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成的层叠体，使上述第1基板和上述第2基板中的至少一个基板沿着自其一端侧朝向另一端侧的剥离行进方向挠曲，从而在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内进行剥离，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：剥离组合体，其包括保持上述第1基板的第1保持构件、保持上述第2基板的第2保持构件、以及包围上述层叠体的第1框体，使由上述第1保持构件、上述第2保持构件、以及上述第1框体围成的空间部构成为液槽；倾斜单元，其使上述剥离组合体相对于水平方向倾斜；液体供给单元，其向上述剥离组合体的上述液槽供给液体，利用液体充满上述层叠体的侧面；以及剥离单元，其使上述第1保持构件和上述第2保持构件中的至少一个保持构件沿着自上端部朝向下端部的上述剥离行进方向挠曲。

为了达成上述目的，本发明的层叠体的剥离方法的一技术方案，其特征在于，该层叠体的剥离方法包括：倾斜工序，使层叠体相对于水平方向倾斜，该层叠体通过以能够剥离的方式隔着吸附层粘贴第1基板和第2基板而成；液体供给工序，利用液体充满倾斜着的上述层叠体的至少上端部侧的侧面；以及剥离工序，自倾斜着的上述层叠体的上端部朝向下端部地在上述第1基板与上述吸附层之间的界面内使层叠体剥离，在上述剥离工序中，自上述层叠体的外部连续地供给上述液体，上述液体一边在重力的作用下在上述界面中因剥离而依次呈现的剥离面上向下方移动，一边湿润上述剥离面。