[发明专利]一种高耐磨WS2固体润滑薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种高耐磨WS₂固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，采用电弧离子镀在金属材料基体的表面形成高耐磨WS₂固体润滑薄膜，包括如下步骤：

S100、金属材料基体的预处理，对待加工的金属材料基体进行预处理，去除附着在所述金属材料基体表面的油脂、锈点和杂质；

S200、生成高耐磨WS₂固体润滑薄膜，在所述WS₂固体润滑薄膜的膜层中，W:S为1:0.8，进一步包括：

S201、将所述金属材料基体放入真空室内，所述真空室与离子镀装置连接，将所述真空室抽真空，将所述真空室抽真空至6.0×10^-4Pa；

S202、通入Ar使离子镀装置的工作气压为设定值5Pa-10Pa，开启离子镀装置的负偏压至-400V～-1000V，进行辉光发电，对所述金属材料基体表面进行清洗；

S203、以WS₂为靶材，使用所述离子镀装置对所述金属材料基体进行表面改性，其中，离子镀装置的弧压为20V～36V，弧流为90A～100A，负压为-100V～-300V，沉积时间为1h，占空比为50-90％，所述靶材WS₂的纯度为95％～99％；以及

S300、金属材料基体的封存，将表面生成高耐磨WS₂固体润滑薄膜后的所述金属材料基体放入丙酮溶液中清洗后烘干，并将烘干后的所述金属材料基体真空密封封存。

2.如权利要求1所述的高耐磨WS₂固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，所述步骤S100包括：

S101、去除所述金属材料基体的表面油脂，用金属除脂溶剂去除该金属材料基体的表面油脂后，将该金属材料基体放入无污染的四氯乙烯溶剂中浸泡20～30分钟，取出后用宣纸吸净残留的四氯乙烯溶剂，再用脱脂棉擦拭该金属材料基体的表面，最后用绸布擦拭干净。

3.如权利要求2所述的高耐磨WS₂固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，所述步骤S100还包括：

S102、去除锈点，用金属除锈清洗剂浸泡清洗该金属材料基体10～20分钟，取出后擦拭干净，以使其表面无微锈点。

4.如权利要求3所述的高耐磨WS₂固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，所述步骤S100还包括：

S103、去除杂质，将该金属材料基体放入丙酮溶剂中，超声清洗20～40分钟后取出，使用干净绸布擦干。

5.如权利要求4所述的高耐磨WS₂固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，所述步骤S100还包括：

S104、超声清洗，将该金属材料基体放入去离子水中，超声清洗5～10分钟后取出，使用干净绸布擦拭，并放置于真空烘箱中烘干2～4小时。