[发明专利]一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构有效
| 申请号： | 201510303047.X | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN104931050B | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 张沛勇;李恺;王峥;李建朋;刘吉利;惠欣;丁颖;王晓玲 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人： | 王卫军 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 一体化 mems 惯性 姿态 敏感 结构 | ||
1.一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，其特征在于：包括底座(1)、立柱(2)、单通道线路组件(3)、MEMS陀螺(4)、母板组件(5)、上罩(6)、光学基准镜(7)，其中由底座(1)、MEMS陀螺(4)组成的陀螺组件模块位于整机结构中心，MEMS陀螺(4)固连于底座(1)上，独立的单通道线路组件(3)以陀螺组件模块为中心立于整机四周，通过立柱(2)与陀螺组件模块固连，避免陀螺信号通过长线传输带来干扰，母板组件(5)、上罩(6)位于整机结构顶部，为陀螺组件模块抵抗空间辐射，光学基准镜(7)粘结于底座(1)一端的基准镜安装面上，为卫星的安装提供基准；
MEMS陀螺(4)包括三个正交陀螺和一个斜装陀螺，其中斜装陀螺与三个正交陀螺夹角相等，三个正交陀螺的输入轴两两相互垂直，分别与星体坐标系的XYZ轴平行，形成正交的XYZ测量坐标系，可测量出卫星沿滚动轴、俯仰轴和偏航轴的角速度分量，作为备份的斜装陀螺，其输入轴和与三个正交陀螺输入轴的夹角相等，保证整机有较高的可靠性和较长的使用寿命。
2.如权利要求1所述的一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，其特征在于：单通道线路组件(3)包括侧壁(31)和线路板(32)，线路板(32)紧固在侧壁(31)上，线路板(32)分为接口部和AD/DA转换部，两部分的信号通过挠性连接(33)传输。
3.如权利要求2所述的一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，其特征在于：所述线路板(32)为8层PCB板。
4.如权利要求1所述的一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，其特征在于：母板组件(5)包括母板(41)和2个对外连接器(42)，与母板组件(5)连接的单通道线路组件(3)将通道线路的传输信号汇聚到母板(41)上，再通过焊接在母板(41)上的2个对外连接器(42)输出给卫星。
5.根据权利要求1所述的一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，其特征在于：所述的陀螺组件模块还包括橡胶减振器(8)，用于MEMS陀螺(4)与底座(1)连接的减振，以抑制1000HZ以上的振动，并隔离MEMS陀螺(4)之间的微振动干扰。
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