[发明专利]在高度校准的包装中具有多个激发能量带的XRF系统

权利要求书

1.一种用于使用X射线射束照射试样斑的X射线分析装置，包括：

具有源斑的X射线管，由该源斑生成具有特征第一能量和韧致辐射能量的发散X射线射束；

用于接收发散的X射线射束并朝试样斑指引射束的第一X射线光学器件，该第一X射线光学器件使射束单色化；

用于接收发散的X射线射束并朝试样斑指引射束的多个第二X射线光学器件，每个第二X射线光学器件使发散的X射线射束单色化为相应的第二激发能量，

其中，第一X射线光学器件使来自源斑的特征能量单色化并且与此同时所述多个第二X射线光学器件使来自源斑的韧致辐射能量单色化。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，X射线光学器件是弯曲的衍射光学器件，用于从X射线管接收发散的X射线射束并且将射束聚焦在试样斑上。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，X射线光学器件是聚焦的单色光学器件。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，聚焦的单色光学器件是双弯晶光学器件或双弯曲的多层光学器件。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该源斑需要沿着经过该试样斑的传输轴线校准，所述装置还包括:

X射线管沿着其第一轴线连接的第一外壳部分，第一外壳部分包括用于在其中可调节地安装X射线管以便源斑就与第一轴线重合的可调节安装特征，第一外壳部分还包括与第一轴线校准的配合表面；

具有与传输轴线重合的第二轴线和与第二轴线校准的配合表面的第二外壳部分；和

装接到第二外壳部分上用于接收发散的X射线射束并且在不同的各自能量下朝试样斑指引射束的第一X射线光学器件和多个第二X射线光学器件，所述第一X射线光学器件和所述第二X射线光学器件需要沿着传输轴线校准；

第一外壳部分和第二外壳部分沿着它们各自的配合表面可以配合以因此将第一和多个第二轴线与传输轴线校准，因此校准源斑、X射线光学器件和试样斑。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，第二外壳部分的形状为管形，且第二轴线在其中纵向地延伸。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，X射线管的形状为管形，在其一端处具有其源斑。

8.如权利要求5所述的装置，其特征在于，第一和第二外壳部分的形状是管形，并且第一和第二外壳部分的配合表面包括一旦连接第一和第二管形外壳部分就彼此接触的表面部分。

9.如权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括用于将每个X射线光学器件安装至第二外壳部分以接收发散的X射线射束的托架，托架可直接或间接地安装至第二外壳部分，这样X射线光学器件的作用表面就沿着传输轴线校准并且定位在与之相距期望距离处。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，安装了托架的第二外壳部分的表面制造成使至少一个X射线光学器件定位在与传输轴线相距期望距离处。