[发明专利]光学位置测量装置

权利要求书

1.一种光学位置测量装置，用于获取能彼此相对的沿着至少一个测量方向运动地布置的第一整体量具和第二整体量具的相对位置，其中，在分离光栅处使由光源发射的照明光束分离成至少两个子射束，所述子射束在经过扫描光路时经历不同的偏振光学作用，并且当不同地偏振的所述子射束在合并光栅处重新合并之后，能从生成的信号射束中产生多个相位偏移的、取决于偏移的扫描信号，其中，在分离和重新合并之间的所述子射束的所述扫描光路中未布置偏振光学构件，其特征在于，为了在所述子射束(TS1，TS2)上产生不同的偏振光学作用，

-锥形地入射的照明光束(B)作用到所述分离光栅(21；121)上，其中，入射的所述照明光束(B)在垂直于所述测量方向(x；y)的入射面(E)中以不同于0°的角度延伸，并且所述入射面(E)通过所述分离光栅(21；121)上的光栅法线和所述照明光束(B)的入射方向来张开，并且

-在分离和重新合并之间的所述子射束(TS1，TS2)的所述扫描光路设计为关于所述入射面(E)镜面对称。

2.根据权利要求1所述的光学位置测量装置，其特征在于，由所述光源(11)发射出的所述照明光束(B)具有线性偏振，所述线性偏振具有关于所述入射面(E)对称或非对称的镜面对称。

3.根据权利要求2所述的光学位置测量装置，其特征在于，在所述子射束(TS1，TS2)的分离和重新合并之间的所述扫描光路中分别布置有一个或多个光栅，该光栅构造为使得

-为所述子射束(TS1，TS2)保持关于所述入射面(E)的所述镜面对称，并且

-在部件的共同作用下，能够实现垂直和平行地偏振的子射束(TS1，TS2)的偏振串扰。

4.根据权利要求3所述的光学位置测量装置，其特征在于，所述子射束(TS1，TS2)在重新合并位置处能够具有相反的圆形偏振。

5.根据权利要求3所述的光学位置测量装置，其特征在于，所述子射束(TS1，TS2)在重新合并位置处具有彼此正交的椭圆形偏振。

6.根据权利要求3所述的光学位置测量装置，其特征在于，所述子射束(TS1，TS2)在重新合并位置处偏振，从而使得相应的琼斯矢量的矢量积不超过值2/3。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的光学位置测量装置，其特征在于，所述第一整体量具(20；120)包括在测量方向(x；y)上延伸的第一反射光栅或透射光栅，所述第一反射光栅或透射光栅使用作为用于所述照明光束(B)的分离光栅(21；121)。

8.根据权利要求7所述的光学位置测量装置，其特征在于，所述第一整体量具(20；120)包括在测量方向上延伸的第二反射光栅或透射光栅，所述第二反射光栅或透射光栅使用作为用于所述子射束(TS1，TS2)的合并光栅(22；122)。

9.根据权利要求8所述的光学位置测量装置，其特征在于，所述第二整体量具(30；130)包括透光片(133)，在所述透光片中为每个子射束(TS1，TS2)设计带有透镜和反射器(132)的衍射的反向反射器或衍射的屋脊式棱镜。

10.根据权利要求9所述的光学位置测量装置，其特征在于，

-在所述透光片(133)的朝向所述第一整体量具(20；120)的第一侧面上构造有至少一个透射光栅形式的所述透镜，并且

-在所述透光片(133)的背离所述第一整体量具(20；120)的第二侧面上构造有至少一个反射层的形式的所述反射器(132)，所述反射器的反射的侧面在所述透光片(133)的第一侧面的方向上定向。