[发明专利]一种氩气净化工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种氩气净化工艺，属于气体技术领域。

背景技术

前氩气高纯度净化一般采用大批量提纯的设备，产品气分装后再供不同生产部门使用，由于现有提纯设备难以实现一次性将氩气提纯净化到99.9999%的目标，而且不能在生产现场根据实际使用情况对低纯度氩气进行净化处理，所以现有大批量提纯设备不能满足生产、科研等部门的实际应用需求。

发明内容

本发明提供一种氩气净化工艺，能够克服以上所述缺陷。

为解决以上技术问题，本发明提供如下技术方案：一种氩气净化工艺，净化工艺所涉及的设备包括氩气净化系统和脱氧剂再生系统，净化的顺序由氩气净化系统至脱氧剂再生系统，再经过氩气净化系统和脱氧剂再生系统，依次类推，多次循环后，由氩气净化系统管路末端收集口收集氩气。

进一步地，所述氩气净化系统包括通过管路连接的原料气过滤器、一级净化柱、二级净化柱、氩气风冷冷却器、氩气水冷冷却器和产品气过滤器，所述原料气过滤器安装在原料气气源与一级净化柱之间的管路上，所述一级净化柱出气口与二级净化柱进气口连接，在二级净化柱出口处并联氩气风冷冷却器和氩气水冷冷却器。

本发明涉及的这种氩气净化工艺，净化效果好。

具体实施方式

实施例1

一种氩气净化工艺，净化工艺所涉及的设备包括氩气净化系统和脱氧剂再生系统，净化的顺序由氩气净化系统至脱氧剂再生系统，再经过氩气净化系统和脱氧剂再生系统，依次类推，多次循环后，由氩气净化系统管路末端收集口收集氩气。

进一步地，所述氩气净化系统包括通过管路连接的原料气过滤器、一级净化柱、二级净化柱、氩气风冷冷却器、氩气水冷冷却器和产品气过滤器，所述原料气过滤器安装在原料气气源与一级净化柱之间的管路上，所述一级净化柱出气口与二级净化柱进气口连接，在二级净化柱出口处并联氩气风冷冷却器和氩气水冷冷却器。

本发明涉及的这种氩气净化工艺，净化效果好。

本发明所述的具体实施方式并不构成对本申请范围的限制，凡是在本发明构思的精神和原则之内，本领域的专业人员能够作出的任何修改、等同替换和改进等均应包含在本发明的保护范围之内。