[发明专利]一种硅片甩干机加热缸盖

说明书

技术领域

本发明涉及硅片加工装置，尤其涉及一种硅片甩干机加热缸盖。

背景技术

硅片完成切割到完成最后的送检之前还需要将硅片放入硅片甩干机内进行硅片甩干操作，传统的甩干机干燥效果差，操作完成后仍有部分硅片潮湿,粘结在一起,不能保证全部硅片干燥分开。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高干燥效率的硅片甩干机加热缸盖。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅片甩干机加热缸盖，包括有上盖和下盖，所述下盖可通过铰链连接在甩干机上，所下盖中心设置有加热管连接头，所述加热管连接头两侧均连接有加热管，所述上盖设置在下盖上方，所述上盖由加热板制成，所述加热板的上侧和侧边涂有保温层，所述加热板通过导线与加热电源电连，所述上盖的中部开有允许加热管通过的通孔。

作为本发明进一步的方案：所述加热管内通有导热油，所述加热管连接有导热油循环系统。

作为本发明进一步的方案：所述上盖上设置有一圈侧挡板。

本发明的有益效果为：所述硅片甩干机加热缸盖设置有上盖和下盖，上盖由加热板制成，可通过上盖进一步提高甩干机内的温度，从而使硅片上的水分快速蒸发,继而不粘片，提高干燥效率，保证硅片的干燥质量。

附图说明

图1为本发明提供的硅片甩干机加热缸盖的剖视图

图2为本发明提供的硅片甩干机加热缸盖的俯视图。

图中：1、上盖；11、加热板；12、保温层；13、导线；14、通孔；2、下盖；21、加热管连接头；22、侧挡板；23、铰链；3、加热管；4、导热油循环系统。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

请参阅图1、图2，所述硅片甩干机加热缸盖，包括有上盖1和下盖2，所述下盖2可通过铰链23固定连接在甩干机上，所述下盖2周围设置有一圈侧挡板22，所述下盖2中心还设置有加热管连接头21，所述加热管连接头21两侧均连接有加热管3，所述加热管3内通有导热油，所述加热管3与导热油循环系统4连接，通过加热油提高甩干机内的温度，所述上盖1设置在下盖2上方，所述上盖1由加热板11制成，所述加热板1的上侧和侧边涂有保温层12，所述加热板11通过导线13与加热电源电连，所述上盖1的中部开有允许加热管3通过的通孔14。

所述硅片甩干机加热缸盖使用时，将下盖2关上从而密封甩干机，通过导热油循环系统4驱动导热油在加热管3内流动对甩干机内部进行加热，同时将上盖1通上电，通过加热板11进一步提高甩干机内的温度，并可起到保温作用，提高了甩干机的干燥效率，保证了硅片的干燥质量。

以上仅以实施例对本发明进行了说明，但本发明并不限于上述尺寸和外观例证，更不应构成本发明的任何限制。只要对本发明所做的任何改进或者变型均属于本发明权利要求主张的保护范围之内。