[发明专利]一种红外反射透光镀膜玻璃的制备方法

权利要求书

1.一种红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，包括如下工序步骤：

S1、预处理：将玻璃基板进行清洗烘干；

S2、装夹：将清洗烘干后的玻璃基板，装到载玻架上；

S3、真空镀膜：载有玻璃基板的载玻架依次连续传动，经过多个真空室，最终得到红外反射透光镀膜玻璃；具体如下：

S31、平衡大气压，将载有玻璃基板的载玻架传送到真空度为10^-1Pa第一真空室；

S32、第一次加热，将由S31传过来的玻璃基板在第二真空室内进行加热到100℃，所述第二真空室内的真空度为10^-2～10^-3Pa；

S33、第二次加热，将由S32传过来的玻璃基板在第三真空室内进一步加热到200℃～250℃，所述第三真空室内的真空度为10^-2～10^-3Pa；

S34、镀膜，将由S33传过来的玻璃基板在第四真空室内进行磁控溅射镀膜，所述第四真空室内充满氩气和氧气，室内温度为200℃～250℃，靶材为ITO；

S35、逐级降温降压，将由S34传过来的玻璃基板在后续真空室内，进行逐级降温降压，出真空室得到所述红外反射透光镀膜玻璃。

2.如权利要求1中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：磁控溅射到玻璃基板上所述ITO层的厚度为100～500nm。

3.如权利要求1中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述第二、第三、第四真空室内加热为双面加热，正面热源设置在真空室内与玻璃基板相对的侧壁；被面热源为线状，一端设置真空室顶，另一端自然下垂；玻璃基板由正面热源与背面热源之间穿过。

4.如权利要求1中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述S34步骤中的镀膜，为真空室内有六对ITO靶材，分别均匀的设置在面向玻璃基板的真空室侧壁，玻璃基板的背面设有线状热源，所述线状热源的一端设置的真空室顶，另一端自然下垂。

5.如权利要求1中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述S35步骤中逐级降温降压工序，包含了五个真空室，第五、第六、第七、第八和第九真空室，所述玻璃基板经过五个真空室逐级进行降温降压。

6.如权利要求5中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述第五和第六真空室的室内温度为200℃～250℃，真空度为10^-2Pa。

7.如权利要求5中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述第七真空室的室内温度为150℃，真空度为10^-1Pa。

8.如权利要求5中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述第八真空室的室内温度为100℃，真空度为10^-1Pa。

9.如权利要求5中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述第九真空室的室内温度为50℃，真空度为10^-1Pa。

10.如权利要求1中所述红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：所述载玻架上至少载有两块平行的玻璃基板，两块平行的玻璃基板的一面同时镀膜。