[发明专利]一种宽波段光透明的连续金属膜结构及其实现方法

权利要求书

1.一种宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于连续金属膜结构的光学波段宽波段光透明及其由常规物理沉积方法和胶体自组装法即可获得大面积制备的低成本的金属晶体结构与介质微腔耦合的连续金属膜结构自下而上依次由平整介质膜层（1）、平整连续金属膜层（2）和金属颗粒阵列结构层（3）组成。

2.根据权利要求1所述的宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于平整介质膜层（1）的厚度为不小于20 nm。

3.根据权利要求1所述的宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于平整介质膜层（1）的材料为玻璃、石英、氧化铝、硅、砷化镓等介质材料。

4.根据权利要求1所述的宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于平整金属膜（2）的材料为铜、铝、钨、银或金等金属材料。

5.根据权利要求1所述的宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于平整金属膜层（2）的厚度为不小于10 nm。

6.根据权利要求1所述的宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于金属颗粒阵列层（3）的材料为铜、铝、钨、银或金等金属材料。

7.根据权利要求1所述的宽波段光透明的连续金属膜结构，其特征在于金属颗粒阵列层（3）的结构为通过胶体自组织法获得金属或金属/介质核壳型纳米颗粒组成的周期性结构。

8.一种权利要求1所述的一种宽波段光透明的连续金属膜结构的实现方法，其特征在于方法为：

（1）通过物理或化学沉积法在平整衬底表面沉积平整介质膜层；

（2）在步骤（1）中所得的金属膜层上通过物理或化学沉积法在平整衬底表面沉积平整连续金属膜层；

（3）利用胶体自组装方法在（2）中获得的结构上构建金属纳米颗粒周期性排列的金属颗粒阵列结构层；

在步骤（1）中，所述平整衬底包括石英、玻璃、硅片或有机膜；

在步骤（1），（2）中，所述的物理或化学沉积方法包括真空镀膜法、金属热蒸发镀膜法、磁控溅射法、激光脉冲沉积法、原子层沉积法、化学镀方法、电化学方法中的一种或几种的混合方法。