[发明专利]光照射装置以及绘图装置

权利要求书

1.一种光照射装置，其特征在于，具有：

光源部，向规定位置出射激光，

照射光学系统，配置于所述规定位置，将来自所述光源部的激光沿着光轴引导至照射面；

所述照射光学系统具有：

分光透镜部，具有沿着与所述光轴垂直的第一方向排列的多个要素透镜，并利用所述多个要素透镜将入射的光分成多条光束，

光程差生成部，具有沿着所述第一方向排列并且具有互不相同的光程的多个透光部，通过所述多个要素透镜的光分别入射至所述多个透光部，

聚光部，配置于比所述分光透镜部以及所述光程差生成部更靠所述照射面一侧，将所述多条光束的照射区域重叠于所述照射面上；

所述多个要素透镜是在所述光轴以及与所述第一方向垂直的第二方向上没有光焦度的多个柱面透镜，

在沿着所述第一方向观察的情况下，从所述光源部向所述分光透镜部入射的光以沿着所述光轴的平行光的状态通过所述分光透镜部以及所述光程差生成部，所述多条光束作为平行光入射至所述聚光部，所述聚光部使所述多条光束会聚于所述照射面上；

所述聚光部具有：

发散部，使所述平行光在所述第二方向上发散，

会聚透镜，接受来自所述发散部的光的入射，并且在沿着所述第一方向观察的情况下，使所述光会聚于所述照射面上，

在所述照射面上，所述多条光束各自的照射区域为在所述第一方向上延伸的线状。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

使经准直调整过的激光从所述光源部入射至所述照射光学系统，

所述照射光学系统还具有宽度调整部，在沿着所述第一方向观察的情况下，该宽度调整部使得入射至所述聚光部的所述平行光在所述第二方向上的宽度，小于所述经准直调整过的激光在所述第二方向上的宽度。

3.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

所述发散部，是仅在所述第二方向上具有负的光焦度的柱面透镜。

4.一种光照射装置，其特征在于，具有：

光源部，向规定位置出射激光，

照射光学系统，配置于所述规定位置，将来自所述光源部的激光沿着光轴引导至照射面；

所述照射光学系统具有：

分光透镜部，具有沿着与所述光轴垂直的第一方向排列的多个要素透镜，并利用所述多个要素透镜将入射的光分成多条光束，

光程差生成部，具有沿着所述第一方向排列并且具有互不相同的光程的多个透光部，通过所述多个要素透镜的光分别入射至所述多个透光部，

聚光部，配置于比所述分光透镜部以及所述光程差生成部更靠所述照射面一侧，并将所述多条光束的照射区域重叠于所述照射面上；

所述多个要素透镜是在所述光轴以及与所述第一方向垂直的第二方向上没有光焦度的多个柱面透镜，

使经准直调整过的激光从所述光源部入射至所述照射光学系统，

在沿着所述第一方向观察的情况下，从所述光源部向所述分光透镜部入射的光以沿着所述光轴的平行光的状态通过所述分光透镜部以及所述光程差生成部，所述多条光束作为平行光入射至所述聚光部，所述聚光部使所述多条光束会聚于所述照射面上，

在所述照射面上，所述多条光束各自的照射区域为在所述第一方向上延伸的线状，

所述照射光学系统还具有宽度调整部，在沿着所述第一方向观察的情况下，该宽度调整部使入射至所述聚光部的所述平行光在所述第二方向上的宽度，小于所述经准直调整过的激光在所述第二方向上的宽度，

所述宽度调整部设置在所述光源部和所述分光透镜部之间。

5.一种绘图装置，其特征在于，具有：

如权利要求1～4中的任一项所述的光照射装置，

空间光调制器，配置于所述光照射装置中的所述照射面上，

投影光学系统，将经所述空间光调制器进行了空间调制的光引导至对象物上，

移动机构，使经空间调制过的所述光在所述对象物上的照射位置移动，

控制部，与所述移动机构使所述照射位置进行移动同步地，控制所述空间光调制器。