[发明专利]动态特性可调宏微一体化复合平台

权利要求书

1.动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：包括基座、宏动外框架和微动平台；

所述宏动外框架与所述微动平台形成一体化平台，所述微动平台设置在所述宏动外框架的框架内部，所述微动平台包括用于放置工件的核心平台、用于支撑和位移输出的弹片组、用于抗共振的可变阻尼器和用于所述检测所述核心平台微位移的位移传感器，所述核心平台通过所述弹片组连接于所述宏动外框架；所述位移传感器设置于所述核心平台上，其位移测量方向与所述核心平台的进给方向一致，所述可变阻尼器设置于所述宏动平台外框架和所述微动平台之间，并分别与所述宏运动外框架及所述微动平台相连接；

所述基座上设置有导轨、滑块和U型直线电机，所述滑块可滑动于所述导轨，所述U型直线电机包括定子、宏动外框架动子、微动平台动子和连接件，宏运动和微运动共用同一个所述定子；

所述宏动外框架固定安装于所述滑块，并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子，由所述宏动外框架动子、所述微动平台动子和所述定子控制其滑动于所述导轨实现宏运动；

所述核心平台通过所述连接件固定于所述微动平台动子，并由所述微动平台动子控制其在所述定子的微运动。

2.根据权利要求1所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述可变阻尼器为挤压型阻尼器或电/磁流变阻尼器。

3.根据权利要求1所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述可变阻尼器为剪切型阻尼器。

4.根据权利要求1所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述弹片组、所述核心平台和所述宏动外框架为一体式结构。

5.根据权利要求1所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述核心平台的两侧通过所述弹片组与所述宏动外框架内壁连接，所述弹片组为平行布置，且所述弹片的长度方向垂直于所述核心平台的运动方向。

6.根据权利要求5所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述宏动外框架与所述弹片组连接处设有槽，使所述宏动外框架内侧形成较薄的可变形的弹性件，所述宏动外框架设有调节所述弹性件变形度的所述频率调节机构。

7.根据权利要求6所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述频率调节机构为穿过所述槽的螺栓，其两端分别连接于所述槽的两侧。

8.根据权利要求6所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述频率调节机构包括穿过所述槽的连接杆和用于调节预紧力动态的压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器的直线运动方向为所述弹片组的预变形方向。

9.根据权利要求1所述的动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：所述位移传感器为差动电容传感器或光电传感器。