[发明专利]阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台

权利要求书

1.阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：包括机架、弹片组、外框架、驱动器、工作平台、张紧力调节机构、微位移传感器和阻尼器；

所述工作平台的两侧通过所述弹片组与所述外框架内壁连接，所述弹片组内的弹片为平行布置，且所述弹片的长度方向垂直于所述工作平台的运动方向；

所述外框架刚性固定于所述机架；

所述驱动器包括有定子和动子，所述的定子固定于所述机架或者所述外框架，所述动子固定在所述工作平台上；

所述外框架与所述弹片组连接处设有槽，使所述外框架内侧形成较薄的可变形的弹性件，所述外框架设有调节所述弹性件变形度的所述张紧力调节机构；

所述不可变阻尼设置于用于连接所述外框架与所述工作平台的任意部件上。

2.根据权利要求1所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：所述不可变阻尼设置于所述弹片组的表面。

3.根据权利要求2所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：所述不可变阻尼为阻尼涂料，所述阻尼涂料涂覆于所述弹片组的表面。

4.根据权利要求1所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：还包括微位移传感器，设于所述运动子平台的进给方向的端部。

5.根据权利要求4所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：所述微位移传感器为电容式传感器、电感式传感器或光栅尺等非接触式位移传感器。

6.根据权利要求1或2所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：所述弹片组、运动子平台和外框架为一体式结构。

7.根据权利要求1所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：所述张紧力调节机构为穿过所述槽的螺栓，其两端分别连接于所述槽的两侧。

8.根据权利要求1所述的阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，其特征在于：所述张紧力调节机构为穿过所述槽的连接杆和用于调节预紧力动态的压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器的直线运动方向为所述弹片组的预变形方向。