[发明专利]用于外延生长的托盘

权利要求书

1.一种用于外延生长的托盘，所述托盘的第一表面包括多个用于平置外延衬底的卡槽，其特征在于，所述卡槽底部设置有多个支撑部件，所述支撑部件用于支撑所述外延衬底使其脱离卡槽底部，所述托盘的与第一表面相对应的第二表面内具有弧形凹陷，所述凹陷的位置与第一表面的所述卡槽的位置相对应。

2.根据权利要求1所述的用于外延生长的托盘，其特征在于，所述托盘的第二表面设置有多个定位柱，所述定位柱用于将所述托盘与一放置所述托盘的支架固定，在所述支架上与所述定位柱的对应位置进一步设置定位槽，所述定位柱与定位槽相配合，用于防止所述托盘在所述支架上横向滑移。

3.根据权利要求1或2所述的用于外延生长的托盘，其特征在于，所述托盘由多个扇区组成，每个扇区内至少包括一个所述卡槽，相邻扇区之间通过至少一个楔形卡扣相连接。

4.根据权利要求3所述的用于外延生长的托盘，其特征在于，每个扇区至少包括一个定位柱。