[发明专利]用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的分划板有效
| 申请号： | 201510316684.0 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104950593B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘华;谭向全;党博石;郑黎明;孙强;卢振武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/32 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 田春梅 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 定位 dmd 光刻 系统 相机 平面 位置 分划板 | ||
1.用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板，其特征在于：该分划板(8)为透明材质的平面薄板，其上端面设有反光镀膜间隔条纹(8-2)，所述反光镀膜间隔条纹(8-2)的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；反光镀膜间隔条纹(8-2)的间隙部分形成透光条纹(8-1)，透光条纹(8-1)的宽度均相同，它们彼此平行且间距相等；所述反光镀膜间隔条纹(8-2)和透光条纹(8-1)均与分划板(8)外轮廓线相交并形成界限清晰且规律断续的外轮廓线边缘(8-3)。
2.如权利要求1所述用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板，其特征在于：所述透明材质的分划板(8)是玻璃或有机玻璃，所述反光镀膜间隔条纹(8-2)是上端面呈镜面的反光金属镀膜。
3.如权利要求1或2所述用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板，其特征在于：所述反光镀膜间隔条纹(8-2)和透光条纹(8-1)也可以均为扇面，多个反光镀膜间隔条纹(8-2)扇面和多个透光条纹(8-1)扇面按相同的圆周角彼此间隔，所述反光镀膜间隔条纹(8-2)和透光条纹(8-1)还可以是由新型分划板(8)的中心按相同的圆周角向外呈放射状分布或呈螺旋线状分布。
4.如权利要求3所述用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的新型分划板，其特征在于：所述分划板(8)分为对称的区域A和区域B，区域A和区域B内的各自的反光镀膜间隔条纹(8-2)二者不平行。
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