[发明专利]监视镜位置的方法和微光刻投射曝光设备的照明系统有效
| 申请号： | 201510317621.7 | 申请日： | 2008-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN105045045B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 简.霍恩;克里斯琴.肯普特;沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 监视 位置 方法 微光 投射 曝光 设备 照明 系统 | ||
【权利要求书】：
1.监视多镜阵列(22)中的多个镜(24)的镜位置的方法，其包括如下步骤：
a)确定取样速率，以该取样速率通过测量系统(52)测量测量值，从而所述测量值呈现有位于给定规范内的变化；
b)以N倍取样速率和相应增加的变化来取样，其中所述N倍取样速率被选择以不再发生锯齿效应；
c)通过平均来滤选以N倍取样速率呈现的测量值，使得因而所获得的滤选值呈现有所述给定规范内的变化。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤b)，根据尼奎斯特定理确定所述N倍取样速率。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步骤c)，使用有限脉冲响应滤选器(FIR滤选器)以滤选所述测量值。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，使用矩形带通滤选器以滤选所述测量值。
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