[发明专利]一种碳纳米管的制备方法有效
申请号: | 201510318924.0 | 申请日: | 2015-06-11 |
公开(公告)号: | CN104961120B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 王军;谯志强;杨云涛;杨光成;吴鹏 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
主分类号: | C01B32/16 | 分类号: | C01B32/16;B82Y30/00 |
代理公司: | 四川省成都市天策商标专利事务所51213 | 代理人: | 罗韬 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 制备 方法 | ||
1.一种碳纳米管的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
A、将硅片进行单槽电化学恒流腐蚀加工,得到多孔硅纳米线阵列;
B、将步骤A中所得到的多孔硅纳米线阵列切成小片,置于反应容器中,然后向反应容器中加入六氟环氧丙烷;
C、加热反应容器,然后保温反应;
D、保温反应完成后,降低反应容器的温度,将产生的气体通入碱性水溶液中,然后取出多孔硅纳米线阵列,并在乙醇或纯水中超声分离,最后干燥,得到碳纳米管;
步骤C所述的加热反应容器使反应容器的内部温度为150~220℃;步骤C所述的保温反应的时间为1~60min。
2.根据权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:步骤A所述的硅片为单面抛光硅片,并且所述硅片的电阻率为3Ω·cm~13Ω·cm。
3.根据权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:步骤A所述的单槽电化学恒流腐蚀加工所用的电解液为氢氟酸、双氧水、单羟基正醇的混合液。
4.根据权利要求3所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述电解液中的氢氟酸、双氧水、单羟基正醇按1:2:2的体积比混合。
5.根据权利要求3或4所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述氢氟酸的浓度为40%,所述双氧水的浓度为30%。
6.根据权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:步骤D所述的超声的超声时间为5~15min。
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