[发明专利]一种碳纳米管的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510318924.0 申请日: 2015-06-11
公开(公告)号: CN104961120B 公开(公告)日: 2017-04-19
发明(设计)人: 王军;谯志强;杨云涛;杨光成;吴鹏 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院化工材料研究所
主分类号: C01B32/16 分类号: C01B32/16;B82Y30/00
代理公司: 四川省成都市天策商标专利事务所51213 代理人: 罗韬
地址: 621000*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种碳纳米管的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

A、将硅片进行单槽电化学恒流腐蚀加工,得到多孔硅纳米线阵列;

B、将步骤A中所得到的多孔硅纳米线阵列切成小片,置于反应容器中,然后向反应容器中加入六氟环氧丙烷;

C、加热反应容器,然后保温反应;

D、保温反应完成后,降低反应容器的温度,将产生的气体通入碱性水溶液中,然后取出多孔硅纳米线阵列,并在乙醇或纯水中超声分离,最后干燥,得到碳纳米管;

步骤C所述的加热反应容器使反应容器的内部温度为150~220℃;步骤C所述的保温反应的时间为1~60min。

2.根据权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:步骤A所述的硅片为单面抛光硅片,并且所述硅片的电阻率为3Ω·cm~13Ω·cm。

3.根据权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:步骤A所述的单槽电化学恒流腐蚀加工所用的电解液为氢氟酸、双氧水、单羟基正醇的混合液。

4.根据权利要求3所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述电解液中的氢氟酸、双氧水、单羟基正醇按1:2:2的体积比混合。

5.根据权利要求3或4所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:所述氢氟酸的浓度为40%,所述双氧水的浓度为30%。

6.根据权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于:步骤D所述的超声的超声时间为5~15min。

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