[发明专利]基于含多羟基结构分子玻璃的底部抗反射组合物及其应用有效
申请号: | 201510319140.X | 申请日: | 2015-06-11 |
公开(公告)号: | CN104914672B | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 杨国强;彭晓曼;许箭;袁华;王双青;李沙瑜 | 申请(专利权)人: | 中国科学院化学研究所 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/26 |
代理公司: | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 刘元霞 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 羟基 结构 分子 玻璃 底部 反射 组合 及其 应用 | ||
1.一种底部抗反射涂料组合物,包括:含两个以上羟基结构的分子玻璃化合物、含两个以上乙烯基醚封端的乙烯基醚类化合物、以及任选的光酸产生剂,
其中,所述分子玻璃化合物为如下通式(I)、(II)、(III)、(IV)所示的结构:
其中X独立的选自H、C1-8烷基、-COOC1-8烷基、R1独立的选自H、OH、-OC1-8烷基、-OCOOC1-8烷基、并且,通式(I)或(II)化合物中含有两个以上的OH;
X’为NH、S或O,Y为N,R2独立的选自H、OH或酸敏基团,并且,上述结构式(III)或(IV)化合物中含有两个以上OH。
2.如权利要求1所述的组合物,其中,所述-COOC1-8烷基为所述-OCOOC1-8烷基为
3.如权利要求1所述的组合物,其中,所述酸敏基团选自如下结构:
、
-O-CO-OC1-20烷基或-O-CO-C1-20烷基。
4.如权利要求3所述的组合物,其中,所述-O-CO-OC1-20烷基为
5.如权利要求1所述的组合物,其中,所述通式(I)、(II)、(III)、(IV)所示结构的分子玻璃化合物为如下具体结构:
6.如权利要求1所述的组合物,其中,所述含两个以上乙烯基醚封端的乙烯基醚类化合物含有2-6个乙烯基醚端基。
7.如权利要求6所述的组合物,其中,所述含两个以上乙烯基醚封端的乙烯基醚类化合物为双官能团、三官能团或四官能团,即含有2-4个乙烯基醚端基。
8.如权利要求1所述的组合物,其中,所述乙烯基醚类化合物具有如下结构:
R1-(R2-O-CH=CH2)n,
其中R1选自C6-20芳基、C1-18烷基、C3-18环烷基,每个R2独立选自:单键、C1-18亚烷基、C1-18亚烷氧基、羰基以及前述两种或更多种基团的组合,n大于等于2。
9.如权利要求8所述的组合物,其中,n为2-6。
10.如权利要求8所述的组合物,其中,所述乙烯基醚类化合物如下所示:
11.如权利要求1所述的组合物,其中,组合物中乙烯基醚类化合物的含量占组合物总质量的0.27wt%-1.08wt%。
12.如权利要求1所述的组合物,其中,组合物中乙烯基醚类化合物的含量占组合物总质量的0.50wt%-1.07wt%。
13.如权利要求1所述的组合物,其中,组合物中乙烯基醚类化合物的含量占组合物总质量的0.52wt%-0.67wt%。
14.如权利要求1-13任一项所述的组合物,其中,所述抗反射涂料组合物还包含至少一种光酸产生剂。
15.如权利要求14所述的组合物,其中,所述光酸产生剂包括离子型或非离子型。
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