[发明专利]热处理炉

权利要求书

1.一种热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

炉体，其在内部具有对对象物进行热处理的处理空间；

氧气传感器，其用于检测所述处理空间的氧气浓度；

流量调整单元，其可以在上限流量至下限流量的流量范围内对流向所述处理空间的氢气流量进行调整，并将所述氢气流量调整为已输入的操作流量；

操作量决定单元，其基于所述氧气传感器检测出的氧气浓度及该氧气浓度的目标值，通过反馈控制在操作量上限值至操作量下限值的操作量范围内决定用于控制所述流量调整单元的操作量；及

换算单元，其根据以下的式(1)，导出将所述操作量范围换算成限制范围时对已决定的所述操作量进行所述换算后的操作流量，并向所述流量调整单元输出导出的所述操作流量，其中，所述限制范围是通过对所述流量范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的范围，

MV2＝(b-a)/(B-A)×(MV1-A)+a (1)

式中，MV1表示操作量，MV2表示操作流量，A表示操作量的下限值，B表示操作量的上限值，a表示限制范围的下限值，b表示限制范围的上限值。

2.根据权利要求1所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备多个所述氧气传感器，

所述操作量决定单元基于多个所述氧气传感器中的一个以上所检测出的氧气浓度及所述目标值来决定所述操作量。

3.根据权利要求2所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

存储单元，其用于存储多个所述氧气传感器中一个以上所检测出的氧气浓度；及

故障判定单元，其基于存储在所述存储单元中的氧气浓度及多个所述氧气传感器所检测出的当前的氧气浓度，判定多个所述氧气传感器有无故障。

4.根据权利要求3所述的热处理炉，其特征在于，

所述故障判定单元用于在每个判定时间段判定是否存在所述故障，在该判定时间段判定不存在故障的情况下，将该判定中所使用的所述当前的氧气浓度存储在所述存储单元中，并在所述判定时间段内，基于判定没有所述故障的最后的判定时间段所存储的所述氧气浓度及多个所述氧气传感器检测出的当前的氧气浓度来判定是否存在所述故障。

5.根据权利要求3所述的热处理炉，其特征在于，

所述操作量决定单元在通过所述故障判定单元判定为存在故障的氧气传感器与判定为没有故障的氧气传感器存在的情况下，基于多个所述氧气传感器中被判定为没有该故障的氧气传感器中的一个以上所检测出的氧气浓度与所述目标值决定所述操作量；

所述换算单元在通过所述故障判定单元判定为存在故障的氧气传感器与判定为没有故障的氧气传感器存在的情况下，所述换算单元使用通过对所述限制范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的故障时的限制范围来代替所述限制范围，进行所述换算而导出所述操作流量。

6.根据权利要求4所述的热处理炉，其特征在于，

所述操作量决定单元在通过所述故障判定单元判定为存在故障的氧气传感器与判定为没有故障的氧气传感器存在的情况下，基于多个所述氧气传感器中被判定为没有该故障的氧气传感器中的一个以上所检测出的氧气浓度与所述目标值决定所述操作量；

所述换算单元在通过所述故障判定单元判定为存在故障的氧气传感器与判定为没有故障的氧气传感器存在的情况下，所述换算单元使用通过对所述限制范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的故障时的限制范围来代替所述限制范围，进行所述换算而导出所述操作流量。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备切换单元，其用于在所述流量调整单元输入由所述换算单元导出的所述操作流量和所述流量调整单元输入规定的操作流量来代替导出的所述操作流量之间进行切换。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备分支流路形成部，所述分支流路形成部设置在比所述流量调整单元靠下游且比所述处理空间靠上游的位置，并且在中途形成分支的流路，以使氢气从多处流入所述处理空间。

9.根据权利要求7所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备分支流路形成部，所述分支流路形成部设置在比所述流量调整单元靠下游且比所述处理空间靠上游的位置，并且在中途形成分支的流路，以使氢气从多处流入所述处理空间。