[发明专利]感光性树脂组合物、保护膜及具有保护膜的元件

说明书

本发明是有关一种感光性树脂组合物、保护膜及具有该保护膜的元件。上述感光性树脂组合物包含聚硅氧烷树脂(A)、碱可溶性树脂(B)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)及溶剂(D)，其中该碱可溶性树脂(B)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(b1)、具有双键基团的芴衍生物(b2)及具有酸分解性基的不饱和化合物(b3)所共聚合而得。本发明的感光性树脂组合物可提升保护膜的流平耐性及耐显影性。

技术领域

本发明是有关一种感光性树脂组合物、使用该组合物所形成的保护膜及具有该保护膜的液晶显示元件，特别是提供一种耐显影性佳及流平耐性佳的感光性树脂组合物、使用该组合物所形成的保护膜及具有该保护膜的液晶显示元件。

背景技术

薄膜晶体管(Thin Film Transtor；TFT)型液晶显示元件、磁头元件、积体电路元件及固体成像元件等的电子元件中，一般是设置保护膜(亦称为层间绝缘膜)于配线之间，而可达到绝缘保护的功效。

制作保护膜的材料一般较佳是选用可藉由较少的步骤获得所要求的图案形状，且具有良好的平坦性。该制作保护膜的材料可为感光性树脂组合物。

日本特许公开第2009-075329号公报揭示一种保护膜用感光性树脂组合物。此保护膜用感光性树脂组合物是藉由包含如下式(VIII-1)或式(VIII-2)所示的过渡金属化合物，以提升保护膜的密着性：

于式(VIII-1)中，A代表VIA族元素至VIIA族元素中原子价数为r的元素，其中r代表1或2；R代表碳数为6至30的芳香基、碳数为4至30的杂环基、碳数为1至30的烷基、碳数为2至30的烯基或碳数为2至30的炔基；D代表如下式(VIII-1-1)所示的基团；X^-代表如下式(VIII-1-2)所示的基团；且s代表0至3的整数：

于式(VIII-1-1)或式(VIII-1-2)中，E代表碳数为1至8的亚烷基、碳数为6至20的亚芳香基或碳数为8至20的杂环化合物等的二价基团；t代表0至5的整数；Rf代表烷基，其中80％以上的氢原子已被氟原子取代；且u代表1至5的整数：

于式(VIII-2)中，M代表VIB族元素至VIII族元素中的过渡金属元素；L1及L2为过渡金属元素M的配位子，且L1代表碳数为6至24的芳香族化合物或碳数为4至20的杂环化合物；L2代表茚、芴或环戊二烯的阴离子；X^-的定义与前述的定义相同，在此不另赘述；w与y代表0至2的整数，且(w+y)的总和为2；z代表1或2。

其次，日本特许公开第2009-229892号公报揭示一种保护膜用感光性树脂组合物。此感光性树脂组合物包含碳数为6至15的具有芳香基的倍半硅氧烷。该具有芳香基的倍半硅氧烷可提升所制得的保护膜的感度、透过率及密着性。

然而，前述的二种感光性树脂组合物虽可提升所制得的保护膜的密着性，惟其仍具有耐显影性不佳及流平耐性不佳的缺陷，而降低所欲制作的图案的精确性，进而降低前述电子元件的效能。

有鉴于此，目前亟需发展一种耐显影性佳及流平耐性佳的保护膜用感光性树脂组合物，以克服已知保护膜的上述种种问题。

发明内容

因此，本发明的一个方面在于提供一种感光性树脂组合物。此感光性树脂组合物可提升保护膜的流平耐性及耐显影性。

本发明的另一方面在于提供一种保护膜，其利用前述的感光性树脂组合物所制得。

本发明的又一方面在于提供一种具有保护膜的元件，此元件具有前述的保护膜。

根据本发明的上述方面，提出一种感光性树脂组合物，此感光性树脂组合物包含聚硅氧烷树脂(A)、碱可溶性树脂(B)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)及溶剂(D)，以下析述之。