[发明专利]一种多线切割机的自动循环的热交换系统

说明书

技术领域

本发明属于电子设备应用领域，具体涉及一种多线切割机的热交换系统。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

基于高精度高速低耗切割控制关键技术研发的高精度数控多线高速切割机床，可全面实现对半导体材料及各种硬脆材料的高精度、高速度、低损耗切割，填补了国内空白;成果具有多项自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，其中切割线的张力控制技术、收放线电机和主电机的同步技术居于国际领先水平。

硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有:效率高，产能高，精度高等优点。是目前采用最广泛的硅片切割技术。

多线切割技术(MWS: Multi-Wire-Slicen)是进行脆硬材料(如硅锭等)切割的一种创新性工艺。在该工艺中，切割线被缠绕在一个导向轴上，可以同时进行几百个切割，获得几百个切片。

MWS工艺可进一步分为两个过程分支，一方面是传统的、已被广泛使用的切割抛光工艺，另一个是新的切割磨削工艺。在切割抛光工艺中使用的是没有涂层的切割线，在切割过程中，切割线涂上抛光液。切割磨削工艺使用的是附有金刚砂涂层的切割线以切削的方式进行，可获得理想的分割效果，大大提高生产效率。

申请号为 201110064142.0，申请日为2011年03月17日公开了一种用于多线切割机的热交换器，包括一固定有底座的壳体，壳体上设置有冷却水进水口和冷却水出水口，冷却水进水口通过三通接头的一端连接冷却水进水管，所述三通接头的另一端连接有球阀，冷却水出水口连接冷却水出水管，壳体的两端分别焊接有管板，管板伸出壳体的部分加工成法兰；壳体的两端还分别通过法兰固连第一流沙锥口和第二流沙锥口，第一流沙锥口连接有砂浆进口，第二流沙锥口连接有砂浆出口；壳体的腔体内设置有若干根管子，管子的两端分别焊接在壳体两端的管板上，并且在管板上按照同心圆的结构排列，管板与管子连接处加工有管板孔，使管子导通。本发明可有效控制砂浆的温度，满足生产需要和加工要求。

上述专利解决了砂浆降温的问题，但是必须要不停地使冷却水在壳体内循环，排出的水资源不能够有效回收利用，这样，就增加了运营成本，造成了资源的浪费。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种多线切割机的热交换系统，解决了现有技术中多线切割机热交换系统浪费水资源、成本高的问题。

本发明为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种多线切割机的自动循环的热交换系统，包括多线切割机的热交换器，所述多线切割机的热交换器包括一固定有底座的壳体，壳体上设置有冷却水进水口和冷却水出水口，冷却水进水口通过三通接头的一端连接冷却水进水管，所述三通接头的另一端连接有球阀，冷却水出水口连接冷却水出水管，壳体的两端分别焊接有管板，管板伸出壳体的部分加工成法兰；壳体的两端还分别通过法兰固连第一流沙锥口和第二流沙锥口，第一流沙锥口连接有砂浆进口，第二流沙锥口连接有砂浆出口；壳体的腔体内设置有若干根管子，管子的两端分别焊接在壳体两端的管板上，并且在管板上按照同心圆的结构排列，管板与管子连接处加工有管板孔，使管子导通，还包括控制器、温度传感器、可控阀门、冷却水槽、水泵，冷却水进水口和冷却水出水口均设置一个可控阀门，所述温度传感器包括两个，其中一个设置于壳体内部或外壁上，用于检测壳体内部冷却水的温度或壳体的温度，另一个设置于冷却水槽内，用于检测冷却水槽内水的温度，冷却水槽设置进水口和出水口，冷却水槽的进水口通过一个水泵与壳体冷却水出水口的可控阀门连接，冷却水槽的出水口通过一个水泵与壳体的冷却水进水口的可控阀门连接，所述控制器分别与温度传感器、水泵和可控阀门连接。

所述冷却水进水口和冷却水出水口均设置一个流量计，用于测量流入壳体和流出壳体的冷却水流量，所述流量计与控制器连接。

所述控制器的中央处理器为FPGA、DSP、ARM中的一种。