[发明专利]一种耐高温的柔性声表面波器件及其制造方法

权利要求书

1.一种耐高温的柔性声表面波器件，从下至上依次为：底层保护层、柔性合金衬底、缓冲层、压电薄膜、叉指电极和顶层保护层，其特征在于：

所述叉指电极材料为金(Au)，厚度为100nm～200nm；

所述柔性合金衬底采用镍基高温合金、钴基高温合金或铁基高温合金，厚度为10～100μm；

所述缓冲层和底层保护层为相同的非晶氧化物薄膜，采用氧化钇(Y₂O₃)或钇铝氧(Y₂O₃-Al₂O₃)，厚度为100nm～2μm。

2.如权利要求1所述耐高温的柔性声表面波器件，其特征在于：所述压电薄膜为高C轴择优取向的氮化铝薄膜，厚度为1μm～10μm。

3.如权利要求1或2所述耐高温的柔性声表面波器件，其特征在于：所述顶层保护层为氮化铝薄膜，厚度为200nm～500nm。

4.如权利要求1所述耐高温的柔性声表面波器件的制备方法，包括以下步骤:

步骤1、柔性合金衬底的预处理：将柔性合金带材依次进行切割、电化学抛光、钝化、清洗和烘干处理；

步骤2、缓冲层和底层保护层的制备：采用化学溶液浸渍提拉法在步骤1所得柔性合金衬底的前后表面同时制备一层100nm～2μm的氧化钇(Y₂O₃)或钇铝氧(Y₂O₃-Al₂O₃)非晶氧化物薄膜，一面作为缓冲层、另一面作为底层保护层；

步骤3、压电薄膜的制备：采用磁控反应溅射法在步骤2所得柔性合金衬底的缓冲层一面沉积一层C轴择优取向的氮化铝薄膜，厚度为1μm～10μm；

步骤4、叉指电极的制备：采用微电子光刻工艺在步骤3得到的压电薄膜上制备声表面波器件的叉指电极；

步骤5、顶层保护层的制备：采用磁控反应溅射法在步骤4制得的叉指电极上制备一薄层氮化铝保护层，其厚度为200nm～500nm。