[发明专利]一种多通道阵列气体传感器的制备方法

权利要求书

1.一种多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、制备多通道阵列气体传感芯片，将多个所述传感芯片固定在基板上，多通道阵列气体传感芯片为一个PCB或者硅基传感芯片上设有多个传感通道，通过任意喷点敏感材料，制备成多个传感器，每个多通道阵列气体传感芯片上具有多个气体传感单元，每一气体传感单元具有一个敏感位点，用于在所述敏感位点处施加敏感材料溶液；

S2、配制敏感材料溶液，敏感材料溶液的配置是将不同气体敏感材料溶解在易挥发溶剂中；

S3、将所述敏感材料溶液移置入孔板中并进行编号，采用点样喷针吸取孔板中的所述敏感材料溶液，并按照编号顺序逐一将敏感材料溶液阵列式地喷滴到传感芯片相应的位置上；

S4、将喷滴了敏感材料的传感芯片进行老化处理；

所述步骤S3具体包括以下步骤：

步骤301、采用点样喷针吸取所述敏感材料溶液后确定第一个点样位置；

步骤302、根据同一敏感材料在传感芯片上的点样位置确定点间间距和阵间间距，机械臂根据所述点间间距和阵间间距控制点样喷针的移动路径，进而完成同一敏感材料的点样，阵间间距为同一个基板上的相邻两个传感芯片上的同一敏感位点之间的距离；

步骤303、重复步骤301和步骤302，完成另一敏感材料的点样直至完成所有敏感材料的点样。

2.根据权利要求1所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤302中的移动路径为根据点间间距由第一个点样位置向其相邻的下一个点样位置依次点样，根据阵间间距确定下一个传感芯片的起始点样位置，并向相邻的下一个点样位置依次点样。

3.根据权利要求2所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中还包括将一个或多个基板固定在等间距设置的容置槽内。

4.根据权利要求3所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，在所述步骤301中确定第一个点样位置包括以下步骤：

步骤一、采用点样喷针吸取敏感材料溶液后将点样喷针复位；

步骤二、选择其中一个基板作为起始基板；

步骤三、测量起始基板上敏感材料在传感芯片上的第一个位置与复位处的距离，通过调节点样喷针在X和Y方向移动的距离，确定第一个点样位置。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，在步骤S1中所述传感芯片等间距地固定在基板上。

6.根据权利要求5所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，在步骤302中同一敏感材料在传感芯片上的位置包括同一敏感材料在同一传感芯片上的位置和同一敏感材料在不同传感芯片上的位置。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，在步骤S2与S3之间还包括安装点样喷针，并将所述点样喷针进行清洗和干燥；

在步骤302和步骤303之间还包括清洗和干燥点样喷针的步骤；

所述点样喷针的针尖大小根据传感芯片上的用于置入敏感材料的敏感位点的大小进行选择。

8.根据权利要求1所述的多通道阵列气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中的易挥发溶剂选自乙醇、丙酮、乙醚、氯仿、二甲基甲酰胺、乙酸乙酯和四氯化碳中的一种或多种的组合；所述步骤S1中的基板选自载玻片和硅片中的一种。