[发明专利]一种MEMS结构及其制作方法

权利要求书

1.一种MEMS结构，其特征在于，包括衬底（1）、可控变形部件（3）、被悬挂部件（4），其中，被悬挂部件（4）通过至少一个可控变形部件（3）与衬底（1）连接，还包括设置在所述被悬挂部件（4）上的第一连接部（7）以及设置在所述衬底（1）上的第二连接部（8）。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS结构，其特征在于，所述被悬挂部件（4）为镜面结构、梳齿结构或质量块结构中的一种。

3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述可控变形部件（3）为两个，两个所述可控变形部件（3）对称设置在所述被悬挂部件（4）的两侧。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS结构，其特征在于，所述衬底（1）材料为单晶硅、多晶硅、碳化硅或玻璃材料。

5.一种如权利要求1~4中任一所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，包括以下几个步骤：

步骤一、所述可控变形部件（3）为两种或两种以上不同膨胀系数材料叠放而成的结构；通过对整个MEMS结构加热或制冷来控制可控变形部件（3）的变形，从而改变被悬挂部件（4）的悬挂高度或角度；

步骤二、当步骤一中被悬挂部件（4）的悬挂高度或角度达到设定要求后，通过粘结材料（6）将被悬挂部件（4）上第一连接部（7）与衬底（1）上的第二连接部（8）连接固定。

6.根据权利要求5所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，所述粘结材料（6）为UV胶、光刻胶、高分子胶、无机胶、环氧树脂胶、银浆、金属薄膜、非金属薄膜中的任意一种。

7.根据权利要求6所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，通过点胶、喷胶、薄膜生长工艺或者丝网印刷工艺对第一连接部（7）和第二连接部（8）部位进行粘接固定。

8.根据权利要求7所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，所述可控变形部件（3）上内嵌有电阻加热层，所述衬底（1）上连接有电引线（5），所述电阻加热层与所述电引线（5）连接；通过对加热引线（5）进行通电，实现对可控变形部件（3）进行微调。

9.根据权利要求8所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，所述被悬挂部件（4）上设有磁性材料层或线圈形状的金属薄膜层，所述衬底（1）的底部设有磁性驱动器；通过磁性驱动器实现被悬挂部件（4）的高度调节。

10.根据权利要求1~4中任一所述MEMS结构的制作方法，其特征在于，所述被悬挂部件（4）上设有磁性材料层或线圈形状的金属薄膜层，所述衬底（1）的底部设有磁性驱动器；通过磁性驱动器实现被悬挂部件（4）的高度调节。