[发明专利]一种涡旋干式真空泵有效

专利信息
申请号: 201510330862.5 申请日: 2015-06-15
公开(公告)号: CN104989641B 公开(公告)日: 2017-12-01
发明(设计)人: 巴德纯;张英莉;岳向吉;陆艳君;王光玉;张振厚 申请(专利权)人: 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
主分类号: F04C18/02 分类号: F04C18/02;F04C29/12
代理公司: 沈阳东大知识产权代理有限公司21109 代理人: 梁焱
地址: 110819 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 涡旋 真空泵
【权利要求书】:

1.一种涡旋干式真空泵,包括电动机、曲拐轴、涡旋动盘、涡旋定盘及壳体,所述电动机的电机轴与曲拐轴的主轴端通过联轴器相连接,所述涡旋动盘套装在曲拐轴的偏心部,所述涡旋定盘与涡旋动盘相配合,涡旋定盘与壳体在外圆周侧密封连接,涡旋定盘与涡旋动盘之间的压缩配合腔为涡旋工作腔,涡旋工作腔的外圆周侧与涡旋定盘上的进气口相通,涡旋工作腔的中心侧与涡旋定盘内的排气通道相通,排气通道与排气口相通;所述涡旋工作腔分为外涡旋工作腔和内涡旋工作腔,所述外涡旋工作腔由涡旋动盘的涡旋体凸面与涡旋定盘的涡旋体凹面配合形成,所述内涡旋工作腔由涡旋动盘的涡旋体凹面与涡旋定盘的涡旋体凸面配合形成;其特征在于:在所述涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀;

所述辅助排气阀的分布方式为:以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点,且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀;

所述辅助排气阀由限位板、弹簧、阀片及辅助排气孔组成,所述辅助排气孔位于涡旋定盘上,所述涡旋工作腔通过辅助排气孔与真空泵外部相通;所述辅助排气孔为阶梯孔,且辅助排气孔的小孔靠近涡旋工作腔,所述阀片和弹簧均位于辅助排气孔的大孔内,所述限位板固定在涡旋定盘外侧,且弹簧位于限位板与阀片之间,阀片通过弹簧的外撑力紧密贴合在辅助排气孔的阶梯过渡面上;

所述辅助排气阀位于外涡旋工作腔时,辅助排气孔的小孔位于距涡旋定盘的涡旋体凹面一个齿厚范围内,且顺着涡旋体凹面涡旋型线排成一排;

所述辅助排气阀位于内涡旋工作腔时,辅助排气孔的小孔位于距涡旋定盘的涡旋体凸面一个齿厚范围内,且顺着涡旋体凸面涡旋型线排成一排。

2.根据权利要求1所述的一种涡旋干式真空泵,其特征在于:在所述辅助排气孔的大孔对应的限位板上开设有泄压孔,或者辅助排气孔的大孔与限位板之间留有排气间隙;所述辅助排气孔的大孔可通过泄压孔与真空泵外部相通,或者辅助排气孔的大孔通过排气间隙与真空泵外部相通。

3.根据权利要求1所述的一种涡旋干式真空泵,其特征在于:所述辅助排气孔的小孔直径小于涡旋定盘及涡旋动盘的涡旋体齿厚。

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