[发明专利]流体传送装置有效

专利信息
申请号: 201510332974.4 申请日: 2015-06-16
公开(公告)号: CN104979255B 公开(公告)日: 2017-11-14
发明(设计)人: 王吉;温子瑛 申请(专利权)人: 无锡华瑛微电子技术有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 无锡互维知识产权代理有限公司32236 代理人: 庞聪雅
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 流体 传送 装置
【权利要求书】:

1.一种流体传送装置,其特征在于,其包括底板、位于底板上的放置器及、垂直设置于所述底板并位于所述放置器一侧的承载板、垂直卡合于所述承载板上的容槽板和电子控制阀;

所述底板上开设有若干个第一圆孔,所述放置器,其架设于所述第一圆孔的上方,所述放置器上开设有第二圆孔,所述第二圆孔和第一圆孔相对应;

所述第一圆孔与所述第二圆孔相对应设置,且所述第一圆孔与所述第二圆孔间隔有预定距离。

2.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,所述承载板,其通过凹槽座垂直安装于所述底板上,所述凹槽座是自所述底板的表面向上延伸形成的。

3.根据权利要求2所述的流体传送装置,其特征在于,所述凹槽座的凹槽的宽度与所述承载板的厚度相对应,通过该凹槽将承载板固定于所述底板上。

4.根据权利要求2所述的流体传送装置,其特征在于,所述承载板上开设有若干个通孔及位于承载板正面的槽道,所述电子控制阀卡合于所述承载板上的通孔中,所述容槽板垂直卡合于所述承载板的槽道中。

5.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,所述容槽板包括容槽、位于容槽两侧的第一沿臂和第二沿臂,所述第一沿臂的宽度小于所述第二沿臂的宽度,所述第二沿臂的宽度与所述容槽的深度相对应。

6.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,所述底板,其上安装有“山”字形的泵座,所述若干个第一圆孔设置于所述泵座的周围,所述泵座具有第一臂、第二臂和第三臂,所述第一臂和第二臂上相对开设有第一卡槽,所述第二臂和第三臂上相对开设有第二卡槽,通过所述第一卡槽和第二卡槽可将泵安装于所述底板上。

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