[发明专利]接合方法在审

专利信息
申请号: 201510333393.2 申请日: 2010-12-17
公开(公告)号: CN104966679A 公开(公告)日: 2015-10-07
发明(设计)人: 张博平;黄贵伟;林威宏;刘重希 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L21/603 分类号: H01L21/603;H01L21/60
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 李静;张浴月
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 接合 方法
【权利要求书】:

1.一种接合方法,包括:

放置多个第一工作件至一基材载具的工作件基座中;

举起并放置多个第二工作件,且所述多个第二工作件的每一者皆置在于所述多个第一工作件的其中一者上;

将所述多个第一工作件与一第一加热工具接触,其中该第一加热工具置于或内建于该基材载具中;

将所述多个第二工作件与一第二加热工具接触,其中该第二加热工具施予一向下的力量以将所述多个第二工作件压向所述多个第一工作件;

在施予该向下的力量之后,以该第一加热工具加热所述多个第一工作件,且以该第二加热工具加热所述多个第二工作件,进而回焊所述多个第一及第二工作件之间的焊料凸块,以同时相互接合所述多个第一及第二工作件;

在回焊步骤期间,保持所述多个第二工作件在一固定水平上;以及

在熔融该焊料凸块之后及固化该焊料凸块之前,以该第二加热工具对所述多个第二工作件施予一向上的力量,以增加该焊料凸块的高度。

2.如权利要求1所述的接合方法,其中该第二加热工具包含多个加热头,且所述多个加热头配置为同时加热所述多个第二工作件。

3.如权利要求1所述的接合方法,其中该第二加热工具包含单一个加热头,与所有的所述多个第二工作件相接触,且该单一个加热头配置为同时加热所述多个第二工作件。

4.如权利要求1所述的接合方法,其中所述多个第一及第二工作件排列成一阵列。

5.一种接合方法,包括:

放置多个第一工作件至一基材载具的工作件基座中;

举起并放置多个第二工作件,且所述多个第二工作件的每一者皆放置在所述多个第一工作件的其中一者上,其中每一第一工作件皆包含一第一焊料凸块与每一第二工作件的一第二焊料凸块相接触;

放置一第一加热工具,同时与所述多个第一工作件相接触;

放置一第二加热工具于所述多个第二工作件上,同时与所述多个第二工作件相接触;

使用该第一加热工具加热所述多个第一工作件及使用该第二加热工具来加热所述多个第二工作件,以进行回焊工艺,其中该第一焊料凸块及该第二焊料凸块被熔融形成一第三焊料凸块;以及

在固化该第三焊料凸块之前,以该第二加热工具对所述多个第二工作件同时施予一向上的力量,以增加该第三焊料凸块的高度。

6.如权利要求5所述的接合方法,其中该第二加热工具包含多个加热头,且其中所述多个加热头配置为同时加热所述多个第二工作件。

7.如权利要求5所述的接合方法,其中该第二加热工具包含单一个加热头,且其中该单一个加热头配置为同时加热所述多个第二工作件。

8.如权利要求5所述的接合方法,还包含在回焊的步骤期间及之前,施予一向下的力量以将所述多个第二工作件压向所述多个第一工作件。

9.如权利要求5所述的接合方法,其中所述多个第一及第二工作件排列成一阵列。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510333393.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top