[发明专利]一种新型抗冲击分子泵转子

说明书

技术领域

本发明属于流体机械技术领域，广泛应用于光伏、照明、半导体、能源、军工等获得真空的一种新型抗冲击分子泵转子。

背景技术

在做机械运动的各类真空泵中，分子泵是一种结构缜密，工艺要求高的泵，最早是在1911年由德国人盖德(W·Gaede)发明的，其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的钢体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。

1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵。涡轮分子泵是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成。每个叶轮的叶轮与叶轮水平面成一定角度，动片和静片倾角方向相反。主轴带动叶轮在静止的定叶轮间高速旋转，高速旋转的叶轮将动量传递给气体分子并使其产生定向运动，实现抽气目的。

盖德牵引泵在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适用于抽除较重的气体，但存在抽速小、工作可靠性差、易出故障的特点。涡轮分子泵则存在加工多级动静叶轮工艺复杂、对颗粒物敏感、维护费用高的特点。随着科技的发展，一种结合了牵引分子泵与涡轮分子泵的特点的新的分子泵-复合分子泵诞生了。复合分子泵既具有牵引分子泵的高压缩比也具有涡轮分子泵的大抽速特点，但是在一些特定的场合仍然不能满足我们的使用要求，比如不能直接抗大气冲击等，而且复合分子泵同样也存在加工多级动静叶轮工艺复杂，对颗粒物敏感等缺点。

发明内容

针对上述问题，为了克服上述问题，本发明提供一种结构简单、便于加工、制造成本低、强度大、耐冲击的一种新型抗冲击分子泵转子。

为了完成本申请的发明目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的一种新型抗冲击分子泵转子，包括转子主体，其上部外表面设置有多个叶齿的叶轮，下部外表面挖设有多条螺旋槽，转子主体上部的叶轮通过第一隔离槽和第二隔离槽被分割为三层，从上而下依次为第一叶片、第二叶片和第三叶片，第三叶片叶齿的数目为偶数且为螺旋槽数目的两倍，第三叶片的叶齿每间隔一个与多条螺旋槽的槽臂相连接。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体内部分为上下两个中空腔体，上下两个中空腔体之间设有中间安装层，中间安装层中部开有锥形转轴安装孔。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体上部直径小于下部直径。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第一叶片的叶齿数目与第二叶片的叶齿数目相等。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第三叶片的叶齿数目为第一和第二叶片的叶齿数目的两倍。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片和第二叶片的叶齿数目为5，第三叶片的叶齿数目为10。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，多条螺旋槽的螺距是变化的，由上而下高度为0-50mm时，所述螺距为350mm，高度为50-90mm时，螺距为350-320mm，高度为90-240mm时，螺距为320-150mm。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片、第二叶片和第三叶片的叶齿倾斜度分别为45°、30°和25°。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第一叶片、第二叶片和第三叶片的叶齿的设置也成螺旋形，且叶齿根部厚度大于顶部。

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体的上端口端面上和外表面靠近下端分别均匀设置有上面动平衡配重孔和下面动平衡配重孔。

有益效果

本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子，其有益效果是转子部分采用整体式加工，扇叶中间的两个隔离槽将叶轮分为三层，上边两层叶齿数目相同，下边一层在叶齿的中间增加了一组相同的叶齿，数量分别为上边两层的两倍。最下端是变螺距的螺旋槽，起到牵引气流的作用。这种结构不仅减少了分片式叶齿的加工，省去了动隔离环，简化了分子泵的结构，而且大大加强了叶齿的强度，提高了叶齿的抗冲击能力。

附图说明

图1为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的立体图；

图2为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的纵向剖视图；

图3为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的正视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明的限定。