[发明专利]一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置及其使用方法和该装置中驱动器运动距离的测量方法

权利要求书

1.一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置，其特征是，包括底座(6)、基座(9)、横梁(10)、侧梁(101)、电极(104)以及置于底座上的导轨(7)和模板(8)；

所述基座通过导轨(7)安装在底座上，基座朝向底座的一面，其中部设有用于模板活动的滑槽，该滑槽平行于导轨，模板置于该滑槽中，所述基座中心位置设有用于观察模板的可视窗(12)；

所述横梁置于侧梁正上方，横梁一端通过支撑腿(11)与基座连接，侧梁一端与支撑腿连接，另一端设有两个驱动器，侧梁另一端搭在其中一个驱动器(106)顶部，另一个驱动器(102)一端与横梁连接，另一端顶住侧梁端部；所述侧梁与横梁之间设有弹性元件(103)，该弹性元件一端与横梁连接，另一端拉紧侧梁；

所述电极一端安装在侧梁上，另一端透过可视窗指向模板表面，电极指向模板的一端与模板表面的距离为0.01-100nm。

2.根据权利要求1所述的一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置，其特征是，所述电极为导体，指向模板表面的一端为针尖状，针尖顶端直径为0.01nm-100nm。

3.根据权利要求1所述的一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置，其特征是，所述侧梁为柔性的铜片材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置，其特征是，所述驱动器材料为压电陶瓷、压电单晶或者压电复合材料。

5.根据权利要求1所述的一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置，其特征是，还设有用于拉紧电极的弹性元件(105)，该弹性元件一端固定在横梁的支撑腿上，另一端拉紧电极。

6.根据权利要求1所述的一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置，其特征是，所述模板为导电体、半导体或半导体上覆盖导电体，其朝向电极的两端设有凹槽或凸起。