[发明专利]中继器以及流体控制和测量系统

说明书

本发明提供中继器以及流体控制和测量系统。为了能使流体设备小型化并能诊断流体设备的动作状态，中继器具备：第一端口，与流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过第一端口从流体设备接收流体关联数据并通过第二端口向用户用信息处理装置发送，或通过第二端口从用户用信息处理装置接收流体关联数据并通过第一端口向流体设备发送，中继器还具备与诊断流体设备的动作状态的诊断用装置连接的第三端口，通过第一端口从流体设备接收诊断动作状态的诊断用数据并通过第三端口向诊断用装置发送。

技术领域

本发明涉及一种用于对例如在半导体制造工序中使用的材料气体、药液或清洗液等流体进行控制或测量的流体控制和测量系统的中继器。

背景技术

例如，在像半导体制造工序那样使用多种气体的情况下，需要控制各气体的流量，在每个气体管路上设置有流体控制装置等流体设备。用户用的信息处理装置与所述的流体设备连接，在所述的流体设备与该用户用信息处理装置之间收发预先由用户设定的种类的数据。

但是，例如维修时等，在诊断各流体设备的动作状态的情况下，如上所述，虽然向用户用信息处理装置发送由用户选择的数据，但是所述动作状态的诊断所需要的数据并不一定齐全。

因此，在以往的流体设备上设置有用于诊断所述动作状态的服务端口，通过所述服务端口，并且通过与维修人员等使用的诊断用装置进行电缆连接，与该诊断用装置之间收发进行诊断所需要的数据。

但是，近年来，对系统的小型化的要求不断提高，如果为了响应所述要求而实现流体设备的小型化，则另一方面会产生如下问题：不能在流体设备上设置用于将所述诊断用装置与流体设备进行电缆连接的端口，从而不能将来自流体设备的数据向诊断用装置发送。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开平7-210254号

发明内容

为了解决所述的问题，着眼于设置在流体设备和用户用信息处理装置之间的中继器，本发明的主要目的在于能够使流体设备小型化并且能够诊断流体设备的动作状态。

即，本发明提供一种中继器，其具备：第一端口，与控制或测量流体的流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据，所述第一端口连接有对所述流体关联数据进行通信的多条第一通信线和对所述诊断用数据进行通信的多条第二通信线，多条所述第一通信线通过各个所述第一端口与各个所述流体设备连接，在所述第一端口和所述第二端口之间汇合，并通过所述第二端口与所述用户用信息处理装置连接，多条所述第二通信线通过各个所述第一端口与各个所述流体设备连接，在所述第一端口和所述第三端口之间汇合，并通过所述第三端口与所述诊断用装置连接。

按照这种中继器，由于具备第三端口，该第三端口与诊断用装置连接，用于向所述诊断用装置发送从流体设备输出的诊断用数据，所以无需对诊断用装置和流体设备进行电缆连接，就能够向诊断用装置发送诊断用数据。

由此，能够不需要以往那样的设置于各流体设备上的电缆连接用的端口，从而能够实现各流体设备的小型化，并且能够诊断各流体设备的动作状态。

在以规定的标准对流体关联数据进行通信的情况下，为了以不会妨碍所述通信的方式将诊断用数据向诊断用装置发送，优选的是，第一通信线和第二通信线与所述第一端口连接，所述第一通信线对所述流体关联数据进行通信，所述第二通信线对所述诊断用数据进行通信。