[发明专利]抗偏振混叠的双路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪

权利要求书

1.一种抗偏振混叠的双路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪，由干涉部分(13)和探测部分(14)组成，其特征在于：所述干涉部分(13)由激光器(1)、第一四分之一波片(2)、第一消偏振分光镜(3)、测量镜(4)、第二四分之一波片(5)、参考镜(6)组成；激光器(1)发出线偏振光，经第一四分之一波片(2)后变成圆偏振光，再经第一消偏振分光镜(3)进行分光，反射光形成第一光束(15)作为测量光，透射光形成第二光束(16)作为参考光；第一光束(15)经测量镜(4)反射后，再经第一消偏振分光镜(3)反射形成第三光束(17)和透射形成第四光束(18)；第二光束(16)经过第二四分之一波片(5)后变成线偏振光，经参考镜(6)反射后再次经过第二四分之一波片(5)变成圆偏振光，然后经第一消偏振分光镜(3)透射形成第五光束(19)和反射形成第六光束(20)；第三光束(17)、第五光束(19)为光路重合、且偏振方向正交的圆偏振光；第四光束(18)、第六光束(20)为光路重合、且偏振方向正交的圆偏振光；所述探测部分(14)由第一反射镜(26)、第二反射镜(27)、渥拉斯特棱镜(7)、第三四分之一波片(8)、第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)、第三光电探测器(11)和第四光电探测器(12)组成；第三光束(17)、第五光束(19)被第一反射镜(26)反射后，先经第三四分之一波片(8)后，被渥拉斯特棱镜(7)分成第一o光(21)、第一e光(22)，分别被第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)接收；第四光束(18)、第六光束(20)经第二反射镜(27)反射后，被渥拉斯特棱镜(7)分成第二o光(23)、第二e光(24)，分别被第三光电探测器(11)、第四光电探测器(12)接收。

2.根据权利要求1所述的抗偏振混叠的双路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪，其特征在于：所述激光器(1)为稳频激光器。

3.根据权利要求1所述的抗偏振混叠的双路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪，其特征在于：所述测量镜(4)、参考镜(6)为平面反射或角锥反射镜。

4.根据权利要求1所述的抗偏振混叠的双路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪，其特征在于：所述第一、二反射镜(26、27)为平面镜或直角棱镜。