[发明专利]Chernin型多光程气体吸收腔的四物镜组定位方法

权利要求书

1.一种Chernin型多光程气体吸收腔的四物镜组定位方法，该方法包括：

对母球面反射镜进行切割，形成四物镜组的四个子球面反射镜；

根据各子球面反射镜目标曲率中心坐标之间具有相对共轭的位置关系，确定各子球面反射镜的目标曲率中心坐标；

将每个子球面反射镜平移至各自对应的目标曲率中心坐标点。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述Chernin型多光程气体吸收腔的两端分别相对设置有四物镜组和凸型场镜组，所述凸型场镜组包括球面顶点坐标垂直分布的第一凹面反射镜和第二凹面反射镜，以第一凹面反射镜的球面顶点坐标作为坐标系原点建立全局笛卡尔坐标系，所述第一凹面反射镜的球面顶点坐标与母球面反射镜的曲率中心坐标重合；所述第二凹面反射镜的曲率中心平分第一子球面反射镜孔径中心和第三子球面反射镜的孔径中心的连线；

所述根据各子球面反射镜目标曲率中心坐标之间具有相对共轭的位置关系，确定各子球面反射镜的目标曲率中心坐标包括：

将第一子球面反射镜的目标曲率中心坐标确定为C_M1(w，c)；将第二子球面反射镜的目标曲率中心坐标确定为C_M2(w，-c)；将第三子球面反射镜的目标曲率中心坐标确定为C_M3(-w，c)；将第四子球面反射镜的目标曲率中心坐标确定为C_M4(-w，-c)。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，定义所切割的第一子球面反射镜至第四子球面反射镜的孔径中心坐标参数分别为M₁(x₁',y₁')、M₂(-x₂',-y₂')、M₃(-x₃',y₃')、M₄(x₄',-y₄')；定义将第一子球面反射镜至第四子球面反射镜平移到达各自对应的目标曲率中心坐标点时，其孔径中心坐标参数分别为M₁(x₁,y₁)、M₂(-x₂,-y₂)、M₃(-x₃,y₃)、M₄(x₄,-y₄)；

所述切割的孔径中心坐标参数与平移后的孔径中心坐标参数满足以下公

式：

x′₁＝x₁-w

-x₂′＝-w-x₂

-x₃′＝w-x₃

x₄′＝x₄+w

y₁′＝y₁-c

-y₂′＝c-y₂

y₃′＝y₃-c

-y₄′＝c-y₄。