[发明专利]等离子体桥式中和一体化的直流离子束光学抛光装置

权利要求书

1.一种等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，包括离子源（1）和等离子体中和器（2），其特征在于：所述抛光装置还包括固定安装于离子源（1）上的盘状盖板（3），所述等离子体中和器（2）安装在盘状盖板（3）内端面上，所述等离子体中和器（2）的喷口（20）正对离子源（1）的离子束的轴线，所述等离子体中和器（2）包括电子发生器（21）和保持器（22），所述喷口（20）位于保持器（22）上，电子发生器（21）的一端设有喷嘴（211），所述喷嘴（211）与喷口（20）同轴布置，所述盘状盖板（3）内端面设有与盘状盖板（3）同轴的C形凸台（31），所述保持器（22）设于所述C形凸台（31）的开口处，且位于喷嘴（211）的前方。

2.根据权利要求1所述的等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，其特征在于：所述盘状盖板（3）上设有一夹持套管（4），所述电子发生器（21）远离喷嘴（211）的一端插入所述夹持套管（4）内。

3.根据权利要求2所述的等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，其特征在于：所述夹持套管（4）通过第一螺栓（41）固定在盘状盖板（3）上，所述第一螺栓（41）上设有绝缘套，所述夹持套管（4）与盘状盖板（3）之间设有绝缘垫片，所述夹持套管（4）与电路接线端子之间通过第一螺栓（41）的螺帽压紧。

4.根据权利要求1所述的等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，其特征在于：所述电子发生器（21）上设有钨丝（212），所述钨丝（212）一端通过第二螺栓（5）固定在盘状盖板（3）上，所述钨丝（212）与电路接线端子之间通过第二螺栓（5）的螺帽压紧，所述第二螺栓（5）上设有绝缘套。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，其特征在于：所述保持器（22）上设有可控制保持器（22）沿盘状盖板（3）径向移动的腰型孔（221），所述腰型孔（221）内设有陶瓷螺栓（6），所述保持器（22）与电路接线端子之间通过陶瓷螺栓（6）的螺帽压紧。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，所述盘状盖板（3）通过锁紧螺栓（32）安装在所述离子源（1）的聚焦离子光学系统（11）上。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，其特征在于：所述离子源（1）的聚焦离子光学系统（11）上设有用于所述盘状盖板（3）对中的对中凸台（111）。