[发明专利]喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备

权利要求书

1.一种喷淋组件，包括喷淋管（10），其特征在于，该喷淋组件（1）还包括若干个喷嘴（20）以及若干个封口组块（30），所述喷淋管（10）的底部开设有多个通孔（101），所述若干个喷嘴（20）可拆卸地连接于所述多个通孔（101）的其中一部分，所述若干个封口组块（30）可拆卸地连接于所述多个通孔（101）的其余部分，所述喷嘴（20）与所述喷淋管（10）流体连通，所述封口组块（30）密封对应的通孔（101）。

2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述多个通孔（101）等间距地排布于所述喷淋管（10）的底部。

3.根据权利要求2所述的喷淋组件，其特征在于，所述通孔（101）为螺纹孔，所述喷嘴（20）具有与所述螺纹通孔（101）适配的第一螺纹部（201），通过将所述第一螺纹部（201）装配于所述螺纹通孔（101），以使所述喷嘴（20）可拆卸地连接于所述通孔（101）中；所述封口组块（30）具有与所述螺纹通孔（101）适配的第二螺纹部（301），通过将所述第二螺纹部（301)装配于所述螺纹通孔（101），以使所述封口组块（30）可拆卸地连接于所述通孔（101）中。

4.根据权利要求2所述的喷淋组件，其特征在于，所述通孔（101）的侧壁上设置有凸起的卡点（1011），所述卡点（1011）的表面至少在所述通孔（101）的轴线方向上呈圆弧面或类似于圆弧面；所述喷嘴（20）的一端设置有一具有弹性的第一卡环（202）,将所述喷嘴（20）装配于所述通孔（101），所述第一卡环（202）与所述卡点（1011）卡合，以使所述喷嘴（20）可拆卸地连接于所述通孔（101）中；所述封口组块（30）的一端设置有一具有弹性的第二卡环（302），将所述封口组块（30）装配于所述通孔（101），所述第二卡环（302）与所述卡点（1011）卡合，以使所述封口组块（30）可拆卸地连接于所述通孔（101）中。

5.根据权利要求4所述的喷淋组件，其特征在于，所述卡点（1011）的数量为多个，所述多个卡点（1011）呈圆周对称地分布于所述通孔（101）的侧壁上，或者所述多个卡点（1011）连成一体形成环状。

6.根据权利要求4所述的喷淋组件，其特征在于，所述卡点（1011）呈半球体结构。

7.根据权利要求2-6任一所述的喷淋组件，其特征在于，所述若干个喷嘴（20）中，每两个喷嘴（20）之间间隔的通孔（101）的数量相等。

8.一种湿刻设备，包括喷淋单元（400），其特征在于，所述喷淋单元（400）

包括多个如权利要求1-7任一所述的喷淋组件（1），多个喷淋组件（1）中的多个喷淋管（10）相互平行地或近于相互平行地排列。

9.根据权利要求8所述的湿刻设备，其特征在于，所述喷淋单元（400）中，多个喷嘴（20）呈阵列分布，以喷淋管（10）的长度方向为行，以垂直于喷淋管（10）的长度方向为列，每一列喷嘴（20）均包含所有行中的喷嘴（20）。

10.根据权利要求8所述的湿刻设备，其特征在于，所述喷淋单元（400）中，多个喷嘴（20）呈阵列分布，以喷淋管（10）的长度方向为行，以垂直于喷淋管（10）的长度方向为列，相邻行的喷嘴（20）相互交错，以使相邻行的喷嘴（20）位于不同的列上，间隔一行的喷嘴（20）位于相同的列上。