[发明专利]用以消除来自离子注入工艺的自燃副产物的方法和装置在审
申请号: | 201510350247.0 | 申请日: | 2015-06-23 |
公开(公告)号: | CN106298421A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 达斯廷·W·胡;迈克尔·S·考克斯;正·袁 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 徐金国,赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用以 消除 来自 离子 注入 工艺 自燃 副产物 方法 装置 | ||
【说明书】:
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